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阿斯麦新一代极紫外光刻机已可投入大规模生产
2026-02-27 07:54 星期五
荷兰光刻机巨头阿斯麦宣布,其最新一代极紫外(EUV)光刻机已正式具备量产能力,全球芯片厂商可立即下单并投入大规模生产。这款新设备售价约4亿美元,是第一代EUV光刻机的两倍。据内部测试显示,该机型已稳定加工约50万片硅晶圆,运行稳定、故障极少,图案刻画精度完全满足先进芯片量产要求。
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