2026年中国（苏州）国际纳米技术产业博览会CHInano

纳米技术主展区： 纳米新材料、纳米微球、纳米涂层、纳米复合材料、生产设备、分散技术、分析检测仪器、新型能源技术、PM2.5预防设备和耗材等

中国国际微纳制造与传感器展： MEMS加工装备、纳米压印技术、微制程技术、分析检测、MEMS器件、MEMS器件及应用、MEMS融合接合技术、下一代光刻技术

第三代半导体及应用展： 氮化镓（GaN）和碳化硅（SiC）、氧化镓、氮化铝、金刚石等第三代半导体衬底、外延材料、光刻胶、光掩膜版、CMP抛光材料、光阻材料、湿电子化学品等半导体材料、半导体生产、封装以及其他电子专用设备、化合物半导体射频器件、功率器件、LED照明显示等上下游产业链及创新应用

精密检测分析展： 原子力显微镜、反向散射探测器、金相显微镜、偏光显微镜、荧光显微镜、电子显微镜、质谱仪、拉曼显微镜、生物显微镜、透射电子显微镜、成像多光子显微镜、飞纳台式扫描电镜、扫描电化学显微镜、材料表征、智能荧光显微成像仪、电镜检测、蓝光三维扫描仪等

MEMS制造专区： MEMS晶圆制造验证-初试-中试-量产、MEMS封装测试、MEMS特殊工艺、失效分析、产线设备等

具身感知专区： 微型传感器、控制器、执行器、高性能电机、驱动器、通信模块、机器人关节、动力传达、仿生皮肤材料、语音拾取/识别、触觉反馈、手势识别、激光雷达、农业/物流/工业/医疗/军事/环境等各应用场景机器人

先进电子材料专区： 硅、锗等半导体材料、稀有金属材料、化合物半导体材料、介电材料、压电与铁电材料、导电金属及其合金材料、磁性材料、光电子材料、电磁波屏蔽材料电子陶瓷、高分子材料、绝缘介质材料、 压电晶体材料、电子精细化工材料、电子轻建纺（电子纺织品）、 锡焊、PCB制作材料、其它电子材料

材料制备专区： 管式炉、箱式炉、真空烧结炉、感应炉；化学气相沉积（CVD）、物理气相沉积（PVD）、磁控溅射、电子束蒸发；球磨机/高能球磨机等纳米研磨设备(干湿法、卧式、三棍研磨等）、静电纺丝、喷雾干燥机；3D打印、金属/陶瓷/高分子增材制造、热压机、高分子材料精密成型；真空系统、离心机、分子泵、机械泵；手套箱、超临界干燥设备、等离子体设备、分散设备等

长三角光电产业专区： 光通信芯片、激光器芯片、探测器芯片、光开关、红外传感芯片、MEMS光传感芯片、半导体激光器、显示光电Mini/Micro LED 芯片、OLED 发光器件、硅光集成、硅光子芯片、硅光模块、硅光封装、光传感应用、车载激光雷达等

光刻胶及耗材专区： G线、I线、KrF、ArF（干法/浸没）、EUV等光刻胶、正/负性胶、纳米压印、剥离、特种光刻胶；掩膜版、抗反射涂层、涂胶/显影配套；树脂、 聚合物、单体、有机溶剂、高纯试剂、电子特气等

纳创赛决赛企业展团： 纳创赛进入决赛企业，包括半导体原材料制备、MEMS器件、功率射频器件、传感器件、分立器件、光电器件等设计、制造、封测、应用企业

国家第三代半导体技术创新展团： 以国家第三代半导体创新中心为主导，涵盖氮化镓、碳化硅（SiC）、蓝宝石等第三代半导体材料、设计、器件、制造和应用企业