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芯片封装是半导体后段加工的关键环节,主要功能是保护芯片免受物理和化学损害,并提供电气连接、机械支撑和散热,确保芯片稳定运行。
封装通过保护材料隔离芯片与外界,防止湿气、灰尘、腐蚀和机械冲击,同时优化电气性能,提高信号传输效率,并通过散热设计延长芯片寿命。
数据显示,2019-2023年中国先进封装市场规模从420亿元增长至790亿元,增幅超85%;中商产业研究院预测,2029年该市场规模将达1340亿元,2024-2029年复合平均增速为9%;2025年中国先进封装渗透率预计将达到41%。
一、封装工艺介绍
封装工艺主要包括背面研磨(Back Grinding)、划片(Dicing)、芯片键合(Die Bonding)、引线键合(Wire Bonding)及成型(Molding)等步骤。
1、背部研磨(Back Grinding)
晶圆在交付封装厂时通常保持原始厚度以保障结构完整性。封装厂采用多阶段研磨工艺实现减薄:
粗磨阶段:使用金刚石砂轮将晶圆减薄至目标厚度
精磨阶段:采用化学机械抛光(CMP)技术实现表面纳米级平整度
应力消除:通过干式或湿式蚀刻消除加工应力,防止晶圆翘曲
根据晶圆厚度而不同的研磨方法,图片来源:滤波器
划片工艺
划片是将完成前道制程的整片晶圆(Wafer)进行物理分割的关键步骤,通过高精度切割设备将直径通常为200mm或300mm的晶圆分割成数百至数千个独立芯片裸片(Die)。
简单来说,就是把一整块“蛋糕”精准地切成一小块一小块,便于后续逐颗封装。
现代划片工艺主要技术包括:
机械刀片切割:使用金刚石刀片进行物理切割
激光隐形切割(Stealth Dicing):采用红外激光在晶圆内部形成改质层,再通过扩展实现分离
关键控制参数:
切割深度:需精确穿透晶圆但不损伤胶带基材
切割速度:影响生产效率和切口质量
冷却系统:防止切割过程中的热损伤
2、拾取与放置工艺(Pick & Place Process)
划片完成后,需通过精密设备(如固晶机、高精度贴装头、集成视觉定位系统及力反馈系统)将单个芯片从切割胶带上分离并转移至封装基板。
1. 拾取阶段(Pick):
采用多轴联动顶出系统,通过精密控制的上顶针阵列(直径通常为100–200μm)对目标芯片施加精确位移
控制力度避免芯片损伤
同步启动真空吸附系统(真空度维持在80kPa至90kPa)
2. 放置阶段(Place):
利用高精度贴装头实现芯片转移,放置力控制在合理范围,确保芯片与基板粘接材料(DAF或环氧树脂)充分接触
3、键合(Bonding)
键合是半导体封装的核心环节,用于建立芯片与外部电路的可靠连接,实现器件功能输出。其核心任务是将切割后的芯片(Die)精确固定于基板载体上。
该工艺在电子系统中的作用类似于汽车发动机——为整个系统提供动力来源。
图源:学习那些事
键合工艺分为两个关键阶段:
1. 芯片键合(Die Bonding/Die Attach)
工艺本质:将裸片永久性固定在引线框架或PCB等载体上
技术目标:形成稳定的机械连接,同时保障热传导路径
典型方法:环氧树脂粘接、共晶键合等
2. 引线键合(Wire Bonding)
工艺本质:通过微细金属导线(金线或铜线)建立芯片焊盘与封装引脚的电连接
技术目标:形成低阻抗、高可靠性的电气通路
典型方法:热超声键合、楔形键合等
“先固定后连接”的工艺顺序确保了器件在机械稳定性与电气性能上的双重可靠性。随着封装向系统级封装(SiP)和3D集成发展,键合技术正逐步向倒装芯片(Flip Chip)、硅通孔(TSV)等先进互连方式演进。
倒装芯片键合(Flip Chip Bonding)由IBM于20世纪60年代后期开发,结合芯片键合与引线键合原理,通过在芯片焊盘上形成凸块(Bump)实现与基板的直接连接。
4、塑封
将键合完成的引线框架放入模具,使用环氧树脂等材料对芯片进行塑封,完成最终封装保护。
二、先进封装(Advanced Packaging, AP)
在摩尔定律放缓背景下,先进封装技术成为提升芯片性能的重要路径。通过三维堆叠和微缩互连技术,实现更高集成密度、更强信号传输能力和更优散热表现,推动算力持续升级。
当前主流先进封装技术主要包括五大架构:
倒装芯片(Flip Chip):芯片“倒立”焊接,通过数万个微型凸块直接与基板连接,大幅缩短信号路径。加热后凸点熔融并与基板焊盘结合,实现高效互联。
2.5D/3D封装:将多颗芯片立体堆叠,借助硅中介层(Interposer)或硅通孔(TSV)实现垂直互连,显著提升集成度。
图源:半导体全解
晶圆级封装(WLP):在晶圆阶段即完成封装工序,制造出尺寸接近裸片的超小型封装体。
系统级封装(SiP):将处理器、存储器、传感器等功能芯片整合为完整系统,实现高度集成化。
Chiplet技术:将大型芯片拆分为多个小模块,通过先进封装重新组合,提升良率与设计灵活性。
三、先进封装工艺
实现上述先进封装架构依赖三大核心工艺:
凸块工艺(Bump):在芯片表面制作微米级金属凸点,作为立体互连的“桥梁”。
重布线层(RDL):在芯片表面重新布局电路走线,突破传统布线限制。
硅通孔(TSV):在硅片中打孔并填充导电材料,建立贯穿芯片的垂直导电通道。

