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浅谈光电探测器与图像传感器(十四):新型雪崩光电探测器(1)

浅谈光电探测器与图像传感器(十四):新型雪崩光电探测器(1) SemIsee
2025-06-15
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近年来,多种新型SPAD/APD器件相继提出,多数仍处于预研阶段,尚未实现商业化应用。本文对当前学术前沿的SPAD研究进展进行综述(部分内容先行发布,后续将陆续更新)。

Angle-Sensitive SPAD

Angle-Sensitive SPAD通过在单个SPAD像素上方集成微米级金属光栅结构,实现对入射光角度的选择性透过。该设计基于Talbot效应:当平行光穿过周期性光栅时,在特定距离后会重现光栅像,衍射图案的偏移量与入射角相关。光子入射后发生衍射,若衍射明条纹与底层缝隙对齐则通过,否则被阻挡,从而实现角度选择性探测。

图1 角度分辨SPAD器件结构示意图[1]

通过构建对不同入射角响应的像素阵列,可实现具备角度分辨能力的传感系统。该技术可用于荧光成像中解析发射方向,或实现光线追迹以获取光流信息。

图2 Angle-sensitive SPAD器件结构示意图[1]

基于超晶格台阶型能带结合的APD

传统APD因随机碰撞电离产生过量噪声,限制其在高灵敏度场景的应用;而光电倍增管(PMT)虽噪声低、增益高,但体积大、需高压驱动,难以集成。为此,美国得克萨斯大学奥斯汀分校等团队提出多级阶梯式APD(multistep staircase APD),融合PMT的低噪优势与APD的固态集成特性。该结构通过能带工程引入“能带台阶”,实现类似PMT的多级倍增机制。由于价带无明显不连续,空穴引发的碰撞电离被抑制,仅电子参与局域化电离,显著降低噪声。

图4 staircase APD倍增原理[2]

研究采用AlInAsSb四元化合物材料,通过分子束外延(MBE)技术构建超晶格多级异质结结构。每级导带呈陡峭跃升,迫使电子跨越界面时获得远超带隙的能量,触发确定性碰撞电离。该设计将连续随机增益离散为多级固定倍增(每级增益约2倍,总增益为2^N,N为阶梯数),有效抑制噪声。

图5 staircase APD器件结构[2]
图6 staircase APD性能分析

实验表明,一至三级阶梯APD的增益符合2^N规律,与模拟高度吻合。过量噪声因子(F(M))始终低于1.1,接近理论极限(F=1),显著优于传统APD和PMT。此外,噪声功率随增益线性增长,而非平方关系,意味着更高增益下具备更优信噪比。该器件在200–220 K即可实现传统HgCdTe探测器在125 K以下的性能,有望成为中红外探测核心器件。

低压低噪弹道雪崩APD

二维材料基APD利用其独特量子效应,在短距离内实现雪崩倍增。南京大学王肖沐/施毅与缪峰团队在黑磷/硒化铟(BP/InSe)异质结中首次发现“弹道雪崩”机制——结合量子弹道输运(电荷几乎无散射、保持相位相干)与可控雪崩效应,在实现载流子倍增的同时保持低功耗、低噪声,突破传统器件瓶颈。

图7 传统雪崩倍增机制和弹道雪崩机制[4]

基于该机制,BP/InSe APD在4微米中红外波段实现高达10⁵的增益,外量子效率达24.8%,可在10–180K温度范围内稳定工作。

图8 常见的二维异质结APD器件结构[4-7]

二维材料APD具有原子级厚度,显著抑制暗电流。通过优化肖特基结与能带结构,暗电流可降低数个数量级。范德华异质结构还支持通过调控层数构造本征结,提升雪崩倍增系数。此类器件在室温工作、小型化、高集成场景中潜力巨大。尽管面临大面积制备与稳定性挑战,随着工艺进步,将在光通信、激光雷达等领域发挥重要作用。

参考文献

  1. Lee, C., et al., A 72 x 60 Angle-Sensitive SPAD Imaging Array for Lens-less FLIM. Sensors (Basel), 2016. 16(9).

  2. March, S.D., et al., Multistep staircase avalanche photodiodes with extremely low noise and deterministic amplification. Nature Photonics, 2021. 15(6): p. 468-474.

  3. Jones, A.H., et al., Low-noise high-temperature AlInAsSb/GaSb avalanche photodiodes for 2-μm applications. Nature Photonics, 2020. 14(9): p. 559-563.

  4. Gao, A., et al., Observation of ballistic avalanche phenomena in nanoscale vertical InSe/BP heterostructures. Nature Nanotechnology, 2019. 14(3): p. 217-222.

  5. Xia, H., et al., Pristine PN junction toward atomic layer devices. Light: Science & Applications, 2022. 11(1): p. 170.

  6. Zhang, Z., et al., Approaching the Intrinsic Threshold Breakdown Voltage and Ultrahigh Gain in a Graphite/InSe Schottky Photodetector. Advanced Materials, 2022. 34(47).

  7. Jia, J., et al., Avalanche Carrier Multiplication in Multilayer Black Phosphorus and Avalanche Photodetector. Small, 2019. 15(38): p. e1805352.

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