目录
一、Scrubber 介绍
二、Scrubber 分类
三、Scrubber 的结构
四、Scrubber的市场规模
五、Scrubber 主要供应商
（Scrubber所处位置，图源公众号：半导体芯盟）
一、Scrubber 介绍
Scrubber，又称尾气处理设备或洗涤塔，是半导体、面板及太阳能电池制造中的关键环保设备。主要用于处理生产过程中产生的PH3、NH3、HCl等有害气体，确保排放达标，降低对环境和人体的危害。
（Scrubber，图源公众号：半导体炉管设备狂人）
二、Scrubber 分类
1. 湿式洗涤塔（Wet Scrubber）
适用于处理可溶性酸碱废气，通过水或化学药剂吸收中和，常见类型包括多孔板式、喷雾式和Jet Scrubber式。成本较低，但对氢化物处理效果有限，常用于CVD与干法刻蚀工序产生的SiH4、BCl3、Cl2等气体处理。
（高压喷射式湿法洗涤塔，图源公众号：Tom聊芯片智造）
2. 干式洗涤塔（Dry Scrubber）
采用吸附或催化反应原理，适合处理难溶于水的氟系化合物。吸着式利用氧化还原化学品，触媒吸收法则通过催化剂提升反应效率，广泛应用于高纯度工艺场景。
（干式洗涤塔，图源公众号：Tom聊芯片智造）
3. 燃烧+水洗式
针对高浓度、大流量废气，先通过高温燃烧分解可燃气体（如H₂、SiH₄），再经湿式洗涤中和酸性物质（如HCl、Cl₂），实现双重净化，处理效率高，适用于复杂工况。
（燃烧+水洗式原理图，图源公众号：杭州慧翔电液技术开发有限公司）
三、Scrubber 的结构
（图源公众号：Semi Dance）
（图源公众号：Semi Dance）
1. 塔体
主体结构，通常为圆柱形或方形，由耐腐蚀材料制成，内部设有多层填料或吸附层，增加气液接触面积，提升处理效率。
2. 进气口
位于塔体顶部或侧面，接入生产工艺废气，配备防倒灌装置，防止洗涤液回流至生产设备。
3. 排水系统
排出反应后废液，包含排水口、管道及配套废水处理单元，确保排放符合环保标准。
4. 排气口
位于塔体上部，排放净化后气体，通常配置在线监测装置，实时检测气体成分、浓度及压力。
5. 控制系统
采用PLC自动化控制，调节洗涤液流量、温度、压力等参数，保障设备稳定高效运行。
四、Scrubber 市场规模
根据QR Research数据，2023年中国工艺废气处理设备市场规模达3.5451亿美元，预计2031年将增长至7.248亿美元，2025–2031年复合增长率（CAGR）为10.13%。
销量方面，2024年中国销量约为7,051台，预计2031年将达到1.35万台，2024–2030年复合增长率约10%。
五、Scrubber 主要供应商
主要厂商包括Edwards Vacuum、Ebara、盛剑环境、京仪装备、Global Standard Technology、UNISEM、Kanken Techno等。
随着环保法规趋严及泛半导体产业向中国大陆转移，工艺废气处理领域正吸引越来越多企业布局。
（Scrubber供应商统计，图源公众号：半导体综研）