荷兰政府决定不公开ASML对华DUV光刻机销售信息
涉及敏感商品信息披露调整 引发业界关注
近日,荷兰政府宣布将ASML对中国出口的深紫外光刻机(DUV)销售情况从“敏感商品出口信息披露”范畴中剔除,这意味着此后ASML对中国市场的DUV设备销售情况不再对外公开。
此前自2023年起,荷兰在美国施压下曾发布过一份针对高科技设备出口的“两用商品清单”,重点包括阿斯麦的DUV光刻机。根据该清单,相关设备的出口需经过许可审批,而最尖端的极紫外光刻机(EUV)则始终受限于严格的出口管制政策。
事实上,自2018年起,ASML已停止向中国出售EUV光刻机。即便是在DUV产品线上,中国企业在高端及中低端市场也都遭遇了严格的限制。受此影响,国内芯片代工业务一度止步于28nm工艺制程阶段,高阶14nm、10nm等先进制程也受到明显压制。
然而这一局面并未持续太久。华为自主研发的海思麒麟芯片在消费电子市场崭露头角,展示了国产半导体技术的飞跃发展。
与此同时,国产光刻技术研发亦取得关键进展:哈尔滨工业大学近期宣布成功研制出13.5纳米极紫外光源,在EUV光刻核心技术上迈出了坚实一步,尽管尚未达到完整整机水平,但距离真正掌握该领域前沿技术的时间窗口正在逐渐收窄。
路透社报道称,荷兰外交部已证实,从2023年9月起便未再对外披露阿斯麦在中国市场大多数销售数据,这项政策调整此前鲜为人知。
按照以往惯例,荷兰政府通常会对具备潜在军事用途的“两用”产品实施出口信息公开,这使得专家与议会能够通过数据研判各国科技能力发展动向。如今DUV设备被移出透明披露范围,引发了有关商业与军事战略意图变化的诸多猜测。
DVU虽然技术层级低于EUV,但在汽车电子、智能手机、计算机以及机器人等多个产业领域仍然是当前制造主流晶圆不可或缺的核心设备。其出口动态直接关系到全球成熟制程产能布局与竞争态势。
据荷兰外交部书面回应称:“欧盟虽要求披露EUV等特定敏感商品许可证授予情况,但由于DUV相关信息极易关联至具体企业运营,公开披露存在泄露商业机密的风险,因此不在强制披露范围内。”
作为全球顶尖的光刻设备供应商,ASML在DUV和EUV市场均占据绝对主导地位。EUV是制造7nm以下先进节点芯片的基础工具,而DUV则是支撑65nm及以下成熟制程广泛应用的关键设备。
值得注意的是,在中国大陆推动扩大成熟工艺晶圆厂投资的大背景下,ASML近年对华销售额稳步增长,中国市场已成为支撑其全球业务的重要组成部分。

