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【纳米】硅晶片上无催化剂外延式生长砷化铟纳米线

【纳米】硅晶片上无催化剂外延式生长砷化铟纳米线 X-MOL资讯
2016-10-04
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导读:澳大利亚昆士兰大学邹进教授团队通过与澳大利亚国立大学合作,利用有机金属化学气相沉积实现了在硅晶片上无催化剂外延式生长砷化铟纳米线的新工艺。

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澳大利亚昆士兰大学邹进(Jin Zou)教授团队通过与澳大利亚国立大学合作,利用有机金属化学气相沉积(MOCVD)实现了在硅晶片上无催化剂外延式生长砷化铟纳米线的新工艺。目前在硅晶片上生长III-V族纳米线普遍的工艺为:首先将单晶硅片表面氧化一层氧化硅,然后利用电子束曝光技术将氧化层制成有孔图案,最后通入所需气氛进行III-V族纳米线外延式的生长。该团队突破了现有的制备程序,直接在单晶硅片上沉积多孔金属层,实现III-V族纳米线的生长。此工艺提供了一种简单、省时、耗费低的III-V族纳米线无催化剂硅晶片上外延式生长。



利用上述工艺,该团队选择了三种和硅晶片相兼容的镍、铂、钯作为多孔金属层,成功实现了砷化铟纳米线在(111)和(001)硅晶片上的外延式生长。他们通过细致的形貌、结构电镜表征发现:在550 °C生长环境下,镍作为多孔金属层时,超长、无缺陷纤锌矿结构的砷化铟纳米线在(111)硅晶片上得以外延式生长。


这一研究成果发表于《Nano Letters》上。第一作者苏文婷(Mun Teng Soo)博士三年级学生。


该论文作者为:M. Teng Soo, Kun Zheng, Qiang Gao, H. Hoe Tan, Chennupati Jagadish, Jin Zou

http://pubs.acs.org/doi/abs/10.1021/acs.nanolett.6b01064 

Growth of Catalyst-Free Epitaxial InAs Nanowires on Si Wafers Using Metallic Masks

Nano Lett., 2016, 16, 4189-4193, DOI: 10.1021/acs.nanolett.6b01064


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