In Situ IRRAS™化学气相沉积过程监测- 大数跨境

Hiferg Technology

2025-04-18

REMSPEC公司致力于中红外反射吸收光谱技术在高敏度表面检测的应用，新上市的In Situ IRRAS™化学气相沉积过程监测系统专用于对化学气相沉积过程进行原位检测。

In Situ IRRAS™化学气相沉积过程监测系统的反射光学准直器和聚焦系统的光学耦合器连接到半导体的气相沉积反应釜，红外信号通过光纤进行传输和记录。

In Situ IRRAS™化学气相沉积过程监测系统具有纳克级的极高的测试灵敏度，可检测到0.1μg/cm²的无机物残留。对于某些半导体的沉积体系，可以检测到单分子层的表面残留。

【声明】内容源于网络

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聚焦国外最新在线结晶成像，在线红外，在线颗粒度，在线气泡监测，时间门控拉曼，在线水分含量测试，全自动反应和反应量热等技术！我们将结合深入的技术应用并以无懈的质量及性能展示给客户！咨询电话：010-53779530，0531-82977799

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