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晶圆搬运机械手的归类探讨

晶圆搬运机械手的归类探讨 商品归类
2023-10-31
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导读:众所周知,单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路及平板显示器的升降、搬运或装卸装置归入品目84.86项下,依据第

晶圆搬运机械手归类解析:8486项下如何准确归入税则子目

基于结构与功能分析,明确晶圆搬运机械手应归入8486.4039

根据《进出口税则》及相关注释规定,单晶柱、晶圆、半导体器件、集成电路及平板显示器的升降、搬运或装卸装置归入品目84.86。该品目涵盖专用于上述产品制造设备的搬运装置及其零件。 工业机器人通常由本体、传感器、伺服驱动器和控制系统四部分组成,其中控制系统被视为机器人的“大脑”。在归类实践中,晶圆搬运机械手是否属于“搬运机器人”存在争议,主要集中在是否具备完整机器人结构特征。 品目84.86项下搬运设备及其零件具体列目如下: 晶圆搬运机械手分为双臂与单臂类型,主要由伺服驱动器、伺服电机、基座、手臂及末端执行器等构成,用于集成电路生产过程中不同工艺腔室间的晶圆自动取放。其工作原理为:主机台控制系统发出指令至伺服驱动器,驱动器将信号转换后控制各电机运行,实现晶圆的高精度定位与平稳搬运。 针对该设备归类,业内存在两种观点: **观点一**:认为虽缺少独立控制系统,但已具备搬运机器人的基本特征,可依据归类总规则二归入子目8486.4031(集成电路工厂专用搬运机器人)。 **观点二**:认为设备本身不带智能控制系统,不符合工业机器人定义,不应归入8486.4031,而应归入8486.4039(其他搬运装置)。 归类分析需参考《本国子目注释》对子目8479.5010中工业机器人的定义,即机器人必须包含三个基本组成部分:主体、驱动系统和控制系统。 - **主体**:包括机座、执行机构(臂部、腕部、手部),部分含行走机构; - **驱动系统**:含动力装置与传动机构,常用电动、液压或气动方式; - **控制系统**:按程序向驱动系统和执行机构发送指令并实施控制。 实际设备中,基座、手臂及末端执行器属于本体部分,伺服驱动器与伺服电机构成驱动系统,但**控制系统集成于生产设备主机台内,并非机械手自身组成部分**。 因此,从结构上看,该设备不具备独立的控制系统,不符合工业机器人定义,**不能归入8486.4031**。然而,其配备伺服系统,具备位置、速度与转矩控制能力,**已实现自动搬运功能**。 综合结构、用途与功能判断,该晶圆搬运机械手虽非完整机器人,但属于专用自动搬运设备,**应归入8486.4039——其他用于半导体材料或元器件的搬运装置**。

审核:吴小明 孙海涛

编辑:苏婷婷

参考文献

1. 中华人民共和国进出口税则(2023)

2. 《本国子目注释》84795010

3. 《机电商品归类的300+问》温朝柱

4. 《新型直驱式晶圆搬运机器人的关键技术研究》李想

5. 《真空硅片搬运机器人本体的研究》郑鋆

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