【已投企业】发挥链主作用，凯世通推动重大装备零部件本土化- 大数跨境

新鼎资本

2024-09-13

万业企业旗下上海凯世通半导体股份有限公司（简称凯世通）携手国内顶尖的集成电路制造企业、中国科学院合肥物质科学研究院等离子体物理研究所、元禾璞华投资管理有限公司及众多国内集成电路零部件企业，推动零部件本土化。近日，通过签订战略合作协议，各方将联合推动技术创新和产学研合作，促进上游零部件企业一体化发展，进而帮助下游用户解决本土芯片制造的连续性挑战。

芯片制造国产化，装备先行；装备国产化，零部件是基础；而上下游协同创新，则是半导体产业链整体突破的必由之路。离子注入机是集成电路前道设备中系统复杂度最高的核心设备之一，包含数以万计的零部件。凯世通发挥“链主”功能，与上游众多零部件供应商建立战略合作关系，同时联合下游应用企业，开展新技术、新产品研发，从而打造一个具有韧性、多元化特征的供应链体系。

万业企业总裁兼凯世通董事长李勇军博士表示，凯世通提早布局，目前已基本实现国产离子注入机供应链自主可控。此次战略合作的签约项目，包括微波等离子体喷枪、静电吸盘材料、真空自动化机器人、超高能射频加速器、射频电源、高精度气体流量计等多款关键零部件，致力于填补国内空白，为客户提供性能更优、成本更低、自主可控的产品与服务解决方案。

在上下游产业链的紧密协作下，凯世通多个关键零部件项目已开花结果。其中，微波等离子体喷枪主要用于离子注入静电中和，相对于传统的灯丝型等离子体喷枪，可有效降低金属污染，从而提升芯片制造的良品率。这一零部件是满足AI、HBM、传感器为代表的芯片严苛制造要求的关键，目前凯世通已实现关键技术突破，产品测试性能表现优异，维护成本低，并已交付给客户进行产线验证。

凯世通副总经理、首席技术官夏世伟介绍，离子注入机零部件种类繁多、技术要求极高。凯世通联合下游应用单位与上游零部件厂商共同开发关键零部件，有序推进国产零部件验证，逐步提升对离子注入机零部件核心技术的掌控性、创新性、领先性。

元禾璞华董事总经理陈瑜表示，该模式还可以加速半导体产业创新、增强产业安全性、增厚半导体新质生产力，为半导体产业协同升级、自主可控提供了新的范式。

来源：人民日报

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