面向极紫外：光刻胶的发展回顾与展望

华睿芯材（无锡）科技有限公司是清华大学光刻胶前沿成果转化企业。公司专注于半导体光刻胶及其配套化学品等关键微电子材料的研发，半导体高端光刻胶的产业化适配，高端光刻胶的量产，定位为以科技创新解决光刻胶“卡脖子”难题，满足国家半导体产业重大战略需求。