在半导体集成电路行业，电力供应的连续性和稳定性如同生命线一般重要。Riello UPS雷乐士不间断电源凭借其卓越性能，为该行业提供高可靠性解决方案，成为众多企业信赖的伙伴。
一、核心应用场景：守护关键生产环节
（一）关键工艺设备保护
光刻机：极紫外（EUV）光刻机对电力波动极其敏感，毫秒级断电可能导致光刻胶固化失败，造成晶圆报废。
离子注入机、薄膜沉积设备（如CVD/PVD）：工艺中断可能破坏晶圆表面结构，影响芯片性能。
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蚀刻机：电力波动会导致工艺参数偏离设定值，降低良率。
（二）洁净室环境维持
空调系统（HVAC）：维持恒温恒湿环境，断电可能导致温湿度失控，引发晶圆氧化或污染。
空气过滤系统：停机可能使颗粒物超标，导致晶圆缺陷。
真空系统：部分设备依赖持续真空，断电可能损坏真空泵或腔体。
（三）检测与计量设备
电子显微镜（SEM/TEM）、探针台：测试过程中断电会导致数据丢失，延长研发周期。
晶圆检测机（如缺陷检测、膜厚测量）：电力中断可能使检测中断，需重新校准。
UPS为以上设备提供毫秒级切换，确保设备在电网故障或电压暂降时持续运行。
二、技术需求与UPS选型：精准匹配行业需求
（一）高可靠性拓扑结构
在线双变换的UPS可提供纯净正弦波输出，隔离电网干扰（如谐波、电压骤降），适用于7×24小时连续生产的晶圆厂。支持在线热扩容和并机，适应半导体产线动态调整需求，冗余设计提升系统可用性。
（二）智能管理与集成
UPS实时监控：通过IoT传感器监测UPS状态（如电池健康度、负载率），预测故障并触发预警。
与厂务系统联动：UPS系统可与SCADA、BMS系统集成，实现电力故障时自动切换至备用发电机或安全停机流程。
三、未来趋势：引领行业变革
（一）宽禁带半导体器件应用
第三代半导体碳化硅（SiC）元件在UPS设备中的应用，可以提升转换效率至97%以上，减少能耗。
（二）数字孪生技术
随着该技术的应用，未来通过虚拟化建模可以预测UPS性能衰减，优化维护周期。
（三）与微电网整合
整合UPS与光伏、储能的智能调度，未来可以助力半导体工厂实现真正的“零碳制造”。
百年品牌，卓越品质
Riello UPS是意大利雷乐士集团旗下的一家超过百年历史的子公司。其UPS产品经过专业设计，为电力供应提供高可靠、高稳定的快速和经济的解决方案。产品可在半导体集成电路行业内多种应用场景内部署和安装使用，已成功为中芯国际、上海华力、无锡华虹、重庆万国等客户提供整体的解决方案。
在半导体集成电路行业迈向更高制程的征程中，雷乐士将继续以其卓越性能和创新技术，为行业筑牢电力保障基石，助力企业实现高质量发展。
