10月13-14日,由张江高科、芯谋研究联合主办的“第九届张江高科·芯谋研究集成电路产业领袖峰会”在上海浦东张江召开,普达特CEO刘二壮在次日举办的设备材料分论坛中以《技术创新驱动设备行业发展》为主题进行演讲。
半导体设备市场随着半导体行业的成长而增长。在过去几十年的发展中,半导体行业的进步正由单轮驱动转向多轮驱动。终端市场应用正在从单一的PC市场转向消费电子、5G、电动车等,新兴应用场景的出现带动芯片需求增长,推动半导体设备同步发展。
国内半导体设备市场需求增长很快。国内晶圆厂扩产拉动国内半导体设备需求,2022年中国半导体设备销售额达到283亿美元,占半导体市场26.3%。国内半导体设备市场的旺盛需求,与较低的国内供应之间形成较大供需缺口。
目前,国内在细分半导体设备领域取得了一些成绩,但总体上半导体设备市场还是由国际厂商所主导。全球半导体设备市场经过多年的发展已经成为了一个非常成熟的市场,并产生了一些寡头,国内相关厂商很难打入市场。但由于半导体市场环境的变化,使得国内半导体设备厂商迎来了窗口期。
在新形势下,用技术创新驱动半导体设备发展是关键。工艺路线创新、设备架构创新、最新技术加持是技术创新的三个路径。同样的问题采取不同的解决路径,就会涉及一些基础科学应用层面的知识。如果不在应用程度上创新,采用同样的解决路径也有很多创新空间,例如从设备设计、架构方面着手。我们从任何一个设备和解决方案去分析会发现有很多可以进行创新的机会。
半导体设备研发要超前于半导体制造。这也意味着,半导体设备的基本框架没有改变。所以,在二十年期间,我们看到很多新的进步。在设备技术层面我们在工艺方法,设备资材,制造工艺,技术积累等方面取得了巨大进步;真空技术,RF技术,清洗设备管、泵、阀等设备模组技术发展迅速;同时,自动化技术+软件技术、大数据技术也在不断迭代。而这其中的大部分知识和经验并没有应用到新设备中。
因此,对于国内半导体厂商来说要善于利用后发优势,把一些先进的行业知识和学习到的Know-how体现在设备里面来。这样新做出来的设备没有道理比原来的设备还差。我们有10年、20年的知识积累,而第一次做原型机是没有的,这也给了国内半导体设备企业做这些事情的机会。
今天很多行业面临的问题最有创新性就是工艺路线的创新。以去胶清洗为例,普达特采用了工艺路线创新路径,开发了DI+ O3 工艺替代硫酸清洗工艺,用新工艺解决了老问题。除了工艺路线创新之外,我们仍然可以对工艺进行一些非常细节的思考,在大家忙着做设备,真正对设备工艺过程清楚吗?仔细思考之下,其实我们可以在很多细节上进行创新。
在设备架构创新方面,普达特的半导体清洗设备,标配16腔体。普达特选择从前端入手,因为腔体布局引起了机械传腔体动的布局和解决方案不一样,所以我们现在这些方面去做。做出来的16腔,相比之下,从应用端看前段可以用、后段也可以用,它的传输效率也很高。所以,我们重新做有一个后发优势,别人做的设备摆在那里大家都知道,行业人人都知道它哪里做的好,哪里做的不好,这些学习和经验应该可以被我们所用,来重新设计一个更好更新的设备并解决这些问题。
目前,普达特科技采取多行业并行发展思路,半导体设备、太阳能设备与能源行业是其三大支撑发展产业。光伏清洗设备领域很多理念是追求低成本,可以说追求到极致,而半导体里面是追求效率,顺带着把成本做低一点。公司多线布局,取得了不错的成绩。截止到今年3月31日,公司收入为5.7亿港币,其中设备方面收入为3.8亿。



