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主持人:上海市集成电路行业协会秘书长 郭奕武
盛美工艺副总裁 贾照伟
盛美工艺副总裁贾照伟做了题为《先进封装电镀及湿法装备的挑战和机遇》的演讲。贾照伟表示,三维的堆叠包括2.5D、3D等多种形式,把不同功能芯片整合到一起实现更强大功能。这对芯片间的连接提出了更高的要求,连接形式有2.5D的interposer、3D TSV,还有Mega pillar(TIV)等。所以对电镀和相关的湿法设备的要求越来越高,面临诸多挑战。包括:比如高密度扇出封装HDFO的产品把不同功能的的芯粒在芯片厂加工,然后封装起来其中涉及到大翘曲晶圆的handle;又比如如何在同一个设备里面兼容不同的产品,使用铜-镍-铜-锡银等多次反复电镀的产品,不同镀槽之间的交叉污染很难控制。盛美采用自主研发技术采用差异化的方式解决了上述一些列难题,不但减少交叉污染,还减少电镀液的使用。盛美针对先进封装采用第二阳极专利技术解决Notch 开口处bump 高度均匀性问题也是差异化技术的另一典型案例。总之,针对先进封装,我们做了差异化技术开发用自己的专利技术解决行业所面临的调整,不仅体现在电镀上还体现在盛美的深孔清洗,TSV刻蚀后清洗等一系列产品上,用自己独立开发的具有自主知识产权的技术应对行业所面临的挑战,为芯片三维堆叠相关客户提供关键工艺解决方案。
裕太微电子销售总裁 郑巍
安集科技资深副总经理 王雨春
立昂东芯副总经理 王彦硕
泓明集团总裁助理 秦雷
新微半导体研发总监 雷嘉成




