


改良西门子法是一种化学方法
(1)工业级硅料的冶炼与提纯;
(2)三氯氢硅的生成与精馏;
(3)光伏级多晶硅的还原制备;
(4)尾气的分离与再利用;
(5)冷氢化:将副产物四氯化硅与氢气及硅粉反应重新生成三氯氢硅返回循环。

硅烷流化床法:
硅烷流化床法是以四氯化硅 SiCl4、氢气 H2、氯化氢 HCl 和工业硅为原料,在流化床内,通过高温高压生成三氯氢硅 SiHCl3,然后将三氯氢硅加氢反应,进一步歧化生产二氯二氢硅 SiH2Cl2,得到硅烷气,最后将硅烷气通入以多晶硅晶种作为流化颗粒的流化床中,是硅烷裂解并在晶种上沉积,从而得到颗粒状多晶硅。

两种工艺对比:


成本分析:
硅烷流化床法的生产成本要低于改良西门子法,主要差距体现在电力能耗上。硅烷流化床法每千克电耗为13.8kwh,改良西门子法则为46.5kwh。由于在新疆、内蒙及四川等地区多晶硅生产成本优势较大,尤其是电力能耗成本在全国范围内处于较低水平,我国多晶硅企业大多集中这些地区。(文章末尾附国内多晶硅产能汇总)
硅烷流化床法:

改良西门子法:

数据来源:当代多晶硅产业发展概论


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