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磁场单晶炉为什么能提高单晶品质

磁场单晶炉为什么能提高单晶品质 光伏研习社
2024-07-20
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由于用坩埚做容器且内部存在对流,随着生成单晶尺寸的加大,热对流温度梯度均匀性越发难以控制,通过加入磁场使导电熔体受洛伦兹力的作用,可减缓甚至消除对流生产高质量单晶硅。

按磁场类别可分为水平磁场、垂直磁场、CUSP磁场:

  • 垂直磁场由于结构原因无法消除主要对流,很少被采用。

  • 水平磁场的磁场分量方向垂直于埚壁主要热对流与部分强迫对流,可有效抑制运动,且保持生长界面平整性,降低生长条纹。

  • CUSP磁场因其对称性,熔体的流动和传热性更为均匀,因此对于垂直与CUSP磁场的研究一直在齐头并进。

国内如西安理工大学较早实现磁场应用硅单晶生产和拉晶实验,主要产品为6-8in普及型,面向太阳能光伏电池硅片市场;国外如美国的KAYEX公司和德国的CGS公司,主要产品为8-16in,适应超大规模集成电路和半导体级别的单晶硅棒,在大直径高品质单晶生长的磁场领域占垄断地位,最具代表性。

单晶生长系统中坩埚区域的磁场分布情况是磁体最为关键的部分,包括坩埚边、坩埚中心、液面下适当距离处的磁场强度及均匀度,其整体呈水平且强度均匀的横向磁场,磁力线垂直于晶体生长轴。由磁效应及安培定律知,线圈与坩埚边最为贴近,场强最大。随着距离加大,空气磁阻增强,场强逐渐变小,至中心处最小。


超导磁场的作用

抑制热对流:在没有外加磁场的情况下,熔融硅在加热过程中会产生自然对流,这可能导致杂质分布不均匀和晶体缺陷的形成。外加磁场可以抑制这种对流,使得熔体内部的温度分布更加均匀,减少杂质的不均匀分布。

控制晶体生长速率:磁场可以影响晶体生长的速率和方向,通过精确控制磁场的强度和分布,可以优化晶体生长过程,提高晶体的完整性和均匀性。在单晶硅生长过程中,氧主要通过熔体和坩埚的相对运动进入硅熔体中。磁场通过减少熔体的对流,降低了氧与硅熔体接触的机会,从而减少了氧的溶解。在某些情况下,外加磁场可以改变熔体的热力学条件,比如通过改变熔体的表面张力,这可能有助于氧的挥发,从而降低熔体中的氧含量。


减少氧和其他杂质的溶解:在硅晶体生长过程中,氧是常见的杂质之一,它会导致晶体品质下降。磁场可以降低熔体中的氧含量,从而减少氧在晶体中的溶解,提高晶体的纯度。

改善晶体内部结构:磁场可以影响晶体内部的缺陷结构,如位错和晶界,通过减少这些缺陷的数量和影响其分布,可以提高晶体的整体质量。

提高晶体的电学性质由于磁场对晶体生长过程中的微观结构有显著影响,因此可以改善晶体的电学性质,如电阻率和载流子寿命,这对于制造高性能的半导体器件至关重要。

         

【声明】内容源于网络
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