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芯片制造的基石:晶圆制备全解析

芯片制造的基石:晶圆制备全解析 光伏研习社
2025-05-25
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一、芯片制造的产业分工格局

芯片制造是一场横跨数百道工序的精密工程,从产业链分工可划分为四大核心环节:芯片设计、晶圆制备、前道制造、封装测试。这一过程中,不同企业基于专业分工形成了三种典型模式:

  • Fabless(无晶圆设计公司)
    聚焦芯片设计,将生产环节外包。例如高通、英伟达通过设计高性能芯片,借助代工厂实现量产;曾经的华为海思也是典型代表,其设计的麒麟芯片需依赖晶圆厂制造。
  • Foundry(晶圆代工厂)
    专注芯片生产,不涉及设计。全球最大代工厂台积电(TSMC)掌握 3nm 等先进制程,中芯国际、华虹集团则是国内 Foundry 的核心力量。芯片制造环节的技术壁垒极高,国内企业即便具备先进设计能力,也常因找不到合格代工厂而面临 “卡脖子” 困境。
  • IDM(垂直整合制造商)
    包揽设计、制造、封测全流程。英特尔、三星、德州仪器等巨头凭借全链条能力占据高端市场,但随着产业精细化分工,轻资产模式的 Fabless+Foundry 组合在效率与成本上更具优势,例如 AMD 剥离晶圆厂后成立格罗方德(GlobalFoundries),后者成为全球前五的代工厂。

此外,芯片制造的 “最后一公里”——封装测试(OSAT)由专业厂商完成。日月光、长电科技等企业对裸片进行封装保护并测试性能,部分晶圆厂虽自建封测产线,但专业 OSAT 厂商在灵活性与规模化上更具竞争力。

二、晶圆制备:从沙子到半导体基底的蜕变

芯片为何被称为 “沙子造的”?这源于其核心材料 ——硅(Si)。地壳中硅元素含量仅次于氧,石英砂(主要成分为二氧化硅)是提取硅的主要原料。晶圆制备需历经六大关键步骤:

1. 硅的提纯:从矿石到电子级高纯硅
  • 第一步:冶金级提纯

    将石英砂与碳源在 1400℃以上高温熔炉中反应,去除氧原子,得到纯度超 98% 的冶金级工业硅(MG-Si)。
  • 第二步:电子级精炼

    通过氯化反应与蒸馏工艺进一步提纯,半导体级硅的纯度需达到99.9999999%~99.999999999%(9~11 个 9),即每百万个硅原子中杂质不超过 1 个,远超光伏行业所需的 4~6 个 9 纯度。
2. 拉单晶硅:从多晶到完美晶体的嬗变

多晶硅因晶粒杂乱、缺陷多,无法直接用于芯片制造。直拉法(柴克拉夫斯基法)是制备单晶硅的主流工艺:

  • 熔硅与引晶
    将高纯多晶硅加热熔化为液态,插入一根细小单晶硅籽晶作为 “生长模板”。
  • 旋转提拉
    以初始 6mm / 分钟速度缓慢提拉籽晶,硅溶液沿籽晶晶格排列凝固,形成直径 30cm、长 1~1.5 米的圆柱形单晶硅锭(晶棒)。温度与提拉速度的精准控制是关键,大尺寸晶锭对设备精度要求更高。
3. 晶圆切割:从晶棒到薄片的精密加工
  • 截断与切片
    切除晶锭头尾,采用金刚线多线切割机内圆锯将晶锭切成 0.5~1mm 厚的硅片。金刚线切割效率高、损耗低,内圆锯则适合高精度需求。
  • 切割液辅助
    使用水基或油基液体冷却润滑,防止硅片因高温或振动碎裂,并带走碎屑。
4. 表面处理:从粗糙裸片到镜面晶圆
  • 倒角
    通过倒角机将硅片边缘磨成圆弧,降低脆性材料崩裂风险。
  • 研磨与蚀刻
    粗研磨去除切割损伤,用氮化酸与乙酸混合液蚀刻微观裂纹,再经高纯度水洗去除杂质。
  • 化学机械抛光(CMP)
    通过 “化学腐蚀 + 机械研磨” 双重作用,使晶圆表面平整度达到纳米级,为后续光刻等精密工艺奠定基础。抛光液中的化学物质与硅反应生成易清除层,磨粒则物理去除凸起部分。
5. 清洗与检测:极致洁净度的把控

抛光后的晶圆需经酸碱清洗、超纯水冲洗,确保表面无抛光液残留。通过光学显微镜等设备检测表面缺陷、厚度均匀性等指标,合格晶圆进入前道制造,不合格品返工或废弃。

6. 定位与标识:生产流程的 “身份认证”

为便于工艺定位,晶圆边缘会加工出平角(Flat)缺口(Notch),反面边缘激光打码标注序号,实现物料全流程追溯。

三、关于晶圆的常见疑问解答

问题 1:晶圆尺寸如何影响芯片成本?
  • 规格与厚度
    主流尺寸包括 8 英寸(200mm)、12 英寸(300mm),12 英寸晶圆厚度约 0.775mm(775μm),需符合 SEMI 国际标准。
  • 经济性优势
    12 英寸晶圆可使用面积是 8 英寸的 2.25 倍,芯片产出量提升 2.5 倍,单位成本显著降低。尽管大尺寸晶圆对拉晶、切割工艺要求更高,但 12 英寸已成为平衡效率与难度的行业主流。
问题 2:为何晶圆是圆形而非方形?
  • 工艺继承性
    单晶硅锭为圆柱体,切割后自然呈圆形,减少材料浪费。
  • 热均匀性
    圆形结构在热处理(如扩散、刻蚀)中受热更均匀,降低热应力导致的缺陷。
  • 面积利用率
    虽芯片为方形,但圆形边缘非有效区域占比低于方形晶圆。计算表明,圆形布局可减少边角废料,提升实际可用面积。
问题 3:除了硅,还有哪些晶圆材料?

半导体材料已历经四代演进:


  • 第一代
    硅(Si)、锗(Ge),占据 90% 以上市场,凭借成熟工艺与优异性能成为绝对主流。
  • 第二代
    砷化镓(GaAs)、磷化铟(InP),用于高频通信、激光器等领域。
  • 第三代
    氮化镓(GaN)、碳化硅(SiC),适用于高压、高温场景,如新能源汽车、5G 基站。
  • 第四代
    氮化铝(AlN)、氧化镓(Ga₂O₃)、金刚石,聚焦超宽禁带半导体,潜力待开发。

结语:晶圆制备是芯片制造的根基,每一片光滑如镜的晶圆背后,是高纯硅提取、单晶生长、精密加工等一系列尖端技术的支撑。随着第三代半导体材料的崛起,晶圆制造正从 “硅基时代” 迈向多元创新,但硅片仍将在相当长的时间内占据核心地位。这一 “从沙子到芯片” 的蜕变过程,不仅是材料科学的奇迹,更是人类挑战精密制造极限的缩影。


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