4月24日，沂河新区行政审批服务局对临沂晶华石英有限公司年产10000吨高纯石英砂、1000吨高纯石英管、30000只高纯石英坩埚项目环境影响评价文件进行了公示。
石英坩埚生产工艺:
1. 称砂配料
按照不同石英坩埚的技术包要求，准备不同型号的石英砂，并称取相应的重量密封配送至熔融车间对应的机台备用。该工序需要保证用料准确。
2. 熔融
将石英砂按照技术要求成型至旋转模具内表面，通过电弧高温熔制成坩埚毛坯。该工序是制作石英坩埚的核心工序，直接决定了石英坩埚的纯度、强度、微气泡密度水平。
3. 喷砂
去除熔制后坩埚毛坯的外层浮砂。通过该工序可以去除石英坩埚外表面粘附的浮砂，防止浮砂影响坩埚的拉晶性能。
4. 外观及微气泡检测
检测石英坩埚外观及透明层微气泡状态。通过该工序可以防止外观不合格的产品流出。
5. 切割
切割系统通过 MES 系统提供的数据源，按照客户规格对石英坩埚毛坏进行切割。该工序主要用于保证产品满足客户对石英坩埚的高度要求。
6. 尺寸检查
通过传感器自动检测石英坩埚外径、厚度、高度以及重量。通过该工序可以防止尺寸不合格产品流出。
7. 洗净
通过水洗、酸洗、水洗的工艺顺序对坩埚的内外表面进行自动刻蚀清洗。该工序可以有效去除石英坩埚内外表面杂质是保证石英坩埚纯度的重要手段。
8. 干燥
对洗净后的石英坩埚进行干燥，去除水分。
9. 冷涂
喷涂系统根据产品图号，调取相应的喷涂工艺，通过机器人手臂对石英坩埚内表面喷涂，制作钡涂层。该工序是涂层坩埚制作涂层的核心工序，能保证坩埚使用过程中形成均匀的析晶层，提升坩埚的长晶性能。
10. 终检
坩埚出货前的检查，主要检查坩埚外观，防止不合格品流出。
11. 包装
对成品石英坩埚进行自动包装，等待发货。
临沂晶华石英有限公司成立于2023年09月25日，位于山东省临沂市沂河新区芝麻墩街道沈阳路与昆明路交汇西南角，注册资本为600万元。企业的经营范围为：非煤矿山矿产资源开采；电子专用材料研发、制造、销售；非金属矿物制品制造、销售等。
来源：临沂沂河新区政府
