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缺陷降90%!垂直GaN新方向,博世已采用

缺陷降90%!垂直GaN新方向,博世已采用 行家说三代半
2022-04-21
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导读:硅衬底,1200V

据外媒报道,博世在采用一家GaN初创公司的外延技术开发垂直氮化镓器件。

据悉,这项技术的关键在于纳米线技术,可以采用硅衬底,可以将缺陷密度降低90%,因此能够以更低的成本打造1200V的GaN功率器件。据悉,他们已经获得了超过200万元的订单,未来还将扩展到8吋线

降低90%缺陷密度

开发低成本垂直GaN器件

4月20日,外媒发布报道称,瑞典初创公司Hexagem正在瑞典Rise研究所的测试平台ProNano开发一种新的GaN垂直功率器件解决方案。

Hexagem是瑞典一家在硅片上开发氮化镓半导体的公司,于2015年创立。

Hexagem首席执行官Mikael Björk,目前GaN-on-Si半导体每平方厘米有1亿个缺陷。“Hexagem技术可以做到接近每平方厘米1000万个缺陷。”亦即,可将缺陷密度降低90%。

根据该公司文献,作为该工艺的一部分,氮化硅缓冲层被沉积在硅晶片上,然后用孔阵列对其进行图形化,为无位错 GaN 纳米线的选择性外延生长做好准备。一旦纳米线生长出来,就会进行侧向外延生长以加宽纳米线,直到它们几乎相互碰撞,形成一个聚结的 GaN 层。

由于需要非常薄的缓冲层和聚结层,该方法可扩展到8英寸晶圆,成本低于标准技术,从而以具有竞争力的价格实现 1200V垂直GaN器件。获取文献请加微信:hangjiashuo666。

Hexagem目前采用的是2英寸硅晶圆,他们目标是采用6英寸以上的晶圆来降低成本,并计划在2022年生产10微米厚的GaN半导体,以帮助开发900-1200V器件。

营收超200万元

已与博世、英飞凌合作

据报道,2019 年Hexagem赢得欧盟eleGaNt项目200 万欧元的资助2020Hexagem的销售额刚刚超过300万瑞典克朗(约205万人民币),2021年该公司从瑞典国有机构 Almi Invest 获得了400万瑞典克朗(约275万人民币)融资

而且,该公司通过UltimateGaN 和 YESvGaN等其他欧盟项目,与英飞凌和博世建立了联系。

据媒体报道,Hexagem 已经通过一个欧盟联合项目与博世进行了合作。

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