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又一国内SiC企业实现8吋突破,产线已贯通

又一国内SiC企业实现8吋突破,产线已贯通 行家说三代半
2024-04-10
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导读:世纪金芯
插播:6月14日,行家说碳化硅大会即将在上海举办,报名请点击文末“阅读原文”。

就在昨天,世纪金芯宣布了一则喜讯——他们实现了8英寸SiC关键技术突破。综合《2023碳化硅(SiC)产业调研白皮书》数据和最新进展来看,截止目前,全球已有29家企业实现了8英寸SiC单晶生长的研发突破,其中包括19家中国企业。

4月9日,世纪金芯半导体有限公司宣布,基于设备、工艺、热场、原料、结构设计等多方面的长期技术积累,突破了8英寸SiC关键技术,在晶体尺寸、厚度、缺陷控制、生长速率、制备成本、及装备稳定性等方面取得可喜成绩。

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数据方面,他们开发的8英寸SiC单晶生长技术可重复生长出4H晶型100%、直径大于200mm、厚度超过10mm的晶体。通过进一步优化工艺,预期世纪金芯的8英寸SiC晶锭厚度将达到20mm以上。

在工艺方面,世纪金芯通过模拟优化、实验设计、开发新结构、新技术(包括籽晶预处理粘接、低应力生长结构设计及工艺)等,获得了低缺陷8英寸SiC单晶,为8英寸晶体量产打下了重要基础——世纪金芯8英寸SiC加工线已同步建成,在2024年2月正式贯通并进入小批量生产阶段,在8英寸SiC衬底量产方向更进一步。

在8英寸SiC合作方面,世纪金芯还与中国台湾HY、JJ、韩国GJ实验室、SX等公司进行产品验证,与日本FG等单位进行8英寸衬底片的产品验证。

值得一提的是,在2024年以来,国内还有2家企业在8英寸SiC研发上取得突破:

● 2024年3月,通威微电子有限公司正式加入第三代半导体产业技术战略联盟,并透露了8英寸SiC的研发进展——已成功研发出8英寸导电型SiC晶体及衬底片,正在进行送样验证。

● 2024年2月6日,平煤神马集团碳化硅半导体粉体验证线传来喜讯——实验室成功生长出河南省第一块8英寸碳化硅单晶,全面验证了中宜创芯公司碳化硅半导体粉体在长晶方面的独特优势。

8英寸SiC已是必然之势,国内厂商在攻克大尺寸SiC晶圆的势头值得我们关注与期待。旨在为行业搭建深度交流的平台,今年6月14日,“行家说三代半”将在上海举行“汽车&光储充与SiC技术大会”,届时论坛将全程围绕行业热点问题和最新SiC研究成果进行讨论,同时还将聚焦新能源终端应用技术,欢迎点击下方的“阅读原文”了解更多信息。

·END·

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