每周科普︱MEMS 振镜激光雷达

MEMS 振镜激光雷达是一种硅基半导体元器件，属于固态电子元件；它是在硅基芯片上集成了体积十分精巧的微振镜，其核心结构是尺寸很小的悬臂梁——反射镜炫富在前后左右各一对扭杆之间以一定谐波频率振荡，由旋转的微振镜来反射激光器的光线，从而实现扫描。硅基MEMS微振镜可控性好，可实现快速扫描，其等效线束能高达一至两百线，因此，要同样的点云密度时，硅基MEMS Lidar的激光发射器数量比机械式旋转Lidar少很多，体积小很多，系统可靠性高很多。

---MEMS 振镜激光雷达优点

1.MEMS微振镜摆脱了笨重的马达、多发射器、接收模组等机械运动装置，毫米级尺寸的微振镜大大减少了激光雷达的尺寸，提高了稳定性；

2.MEMS微振镜可减少激光发射器和探测数量，极大地降低成本。

---MEMS 振镜激光雷达缺点

1.有限的光学口径和扫描角度限制了Lidar的测距能力和FOV，大视场角需要多子视场拼接，这对点云拼接算法和点云稳定度要求都较高；

2.抗冲击可靠性存疑。

---MEMS 振镜激光雷达主要存在的问题

1.振镜尺寸问题：远距离探测需要较大的振镜，不但价格贵，对快轴、慢轴负担大，材质的耐久疲劳度存在风险，难以满足车规的DV、PV的可靠性、稳定性、冲击、跌落测试要求。

2.悬臂梁：硅基MEMS的悬臂梁结构其实非常脆弱，快慢轴同时对微振镜进行反向扭动，外界的振动或冲击极易直接致其断裂。