01 项目背景
YBCO高温超导薄膜具有极低的微波表面电阻，用高温超导薄膜研制的微波无源器件具有损耗低、噪声小等优点。若应用于通讯系统可大幅度提高有效通话距离、增加通话容量，改善通话质量；若应用于军事侦察系统，则可显著提高对弱信号目标的侦察能力，并增大侦察距离；因此，高温超导技术具有良好的军民两用前景。
02 成果简介
首先研制了一套可满足YBCO高温超导双面薄膜生长的专用设备-“双对靶倒筒式溅射系统”；在此基础上，该课题通过基片连续翻转实现了在基片两面的同时原位沉积，保证了双面薄膜的两面一致性；针对大尺寸薄膜的面内均匀性问题，该课题发明了“单轴驱动的调速双轴旋转技术”，使3英寸范围内薄膜的厚度偏差减小到5%、成分偏差减小到6%以内，在解决了3英寸薄膜均匀性的同时，沉积速率还提高了5倍，满足了批量生产对效率的要求。通过以上技术发明，结合加热器热场设计和工艺参数的优化，该课题研制出了高质量3英寸YBCO高温超导双面薄膜，临界电流密度分布在2-3mA/cm2，标准条件下(77K，10GHz)的微波表面电阻分布在0.24-0.37mΩ之间，达到了国际先进水平。
03 合作方式
合作方式：技术许可、转让、入股
价格：面议
联系方式：13788944330
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