01 项目简介
本成果研究出基于弛豫铁电单晶的高性能微加工压电单晶复合材料,制备出高工作频率、高机电耦合系数的高频压电单晶复合材料，机电耦合系数kt高于70%，应用于15-75MHz高频医学超声换能器，灵敏度提升30%。带宽增加100%
并且，建立了基于PZT压电薄膜的三维PMUT器件有限元仿真模型，制备出基于PZT薄膜的PMUT单元及阵列超声波换能器，器件谐振频率高于24 MHz。
02 应用领域
本技术可大厢提升了血营内超声成像的图像分辩率，应用于电出血优内语街成像技(U5)等检测能够实时监测诊断的高频医学超声诊疗技术在工业检测领域，超声显微镜利用高频超声换能器和声镜，可对大规模集成电路、半导体晶圆、封装结构等不同层次 (包括层间细节)进行非破坏性观察，如40 MHz高频超声波换能器。
03 合作方式
合作方式：产学研合作
价格：面议
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