【科技牛成果推荐】高性能ZnO透明导电薄膜技术- 大数跨境

科技牛咨讯

2019-12-23

导读：氧化锌（ZnO）基透明导电薄膜不仅具有优良的光电特性，并且来源丰富、价格低廉、毒性小、具有很高的热稳定性和化学稳定性，是Si薄膜太阳能电池前、后透明导电电极的绝佳材料。

01 项目背景

氧化物透明导电薄膜在很多领域得到了应用，特别是用作高端显示器和太阳能电池的电极。目前的主导产品主要是ITO材料，它具有低的电阻率，可见光范围内高的透过率。但是In的价格很昂贵，并且有毒。氧化锌（ZnO）基透明导电薄膜不仅具有优良的光电特性，并且来源丰富、价格低廉、毒性小、具有很高的热稳定性和化学稳定性，因此是Si薄膜太阳能电池前、后透明导电电极的绝佳材料。

02 成果简介

本项目研究了高性能ZnO透明导电薄膜技术。用脉冲激光溅射沉积制备了ZnO透明导电薄膜，掌握了最佳制备工艺，并分别通过Al掺杂实验和绒面限光结构，提高了薄膜的导电性能量和透过率，从而得到了电阻率为4*10-4Ω·cm，透光率超过90%的ZnO透明导电薄膜。在项目的实施过程中，发表SCI论文1篇，申请发明专利1项。