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【科技牛成果推荐】ULSI用超净高纯试剂的研究

【科技牛成果推荐】ULSI用超净高纯试剂的研究 科技牛咨讯
2021-04-22
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导读:01 项目背景国内所生产的高纯盐酸均采用高温蒸馏的方法,该方法的缺点是对设备材质要求高,安全性差,生产成本

01  项目背景


国内所生产的高纯盐酸均采用高温蒸馏的方法,该方法的缺点是对设备材质要求高,安全性差,生产成本高,连续化生产难度大,不适合工业化规模生产。


02  成果简介


气体吸收法就是工业无水氯化氢通过低温精馏精制,然后再经气体纯化、洗涤,用纯水吸收得到高纯度的盐酸。气体吸收法制备高纯盐酸的突出优点是:设备及工艺路线都很简单,生产能耗低,产品质量高,操作简便,产量大,可以规模化生产。该所此次完成的气体吸收工艺制备超纯盐酸技术成果是通过承担“十五”国家“863”超大规模集成电路配套材料重大专项-ULSI用超净高纯试剂的研究课题,利用该系统中气体高纯氯化氢气体来源方便的优势,与北京化工二厂合作完成的一项新技术,该项技术已经在该厂建成年产千吨级规模的生产线,现已投入生产。该项成果的完成,标志着中国超大规模集成电路配套用超净高纯盐酸将可实现国产化,从而结束长期以来进口的局面。


03  合作方式


合作方式:技术许可、转让、入股


价格:面议


联系方式:13788944330


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