马斯克拟建特斯拉2纳米晶圆厂,洁净室理念引行业质疑
埃隆·马斯克近期表示,芯片制造行业当前建造洁净室的方式“存在根本性错误”,并称一旦特斯拉建成自有的2纳米制程晶圆厂TeraFab,他将在厂内“吃汉堡、抽雪茄”。该言论迅速引发半导体业界关注与质疑。
洁净室标准与现实约束
现代晶圆厂采用高度集成的一体化设计:超洁净生产区(洁净室)、真空与气体处理子层、专用工具服务走廊、集中式化学品输送及废物管理系统,以及办公与中控区域。其中,洁净室与其余空间物理隔离,核心目标是将空气中≥0.1微米颗粒数严格控制在极低水平——EUV/DUV光刻、先进栅极工艺等关键环节必须在ISO 1级或ISO 2级环境中运行。
ISO 1级标准为每立方米空气最多含10个≥0.1微米颗粒;ISO 2级为最多100个。即便如此严苛,人体呼吸仍可能扰动微粒平衡。马斯克所提行为明显违背洁净室基本运行逻辑,若真实发生,将直接冲击良率与产能稳定性。
TeraFab:自建还是深化合作?
马斯克此前已多次提出构建特斯拉专属芯片制造网络,以支撑其AI芯片(如AI5、AI6)定制需求,并已与三星展开深度合作。此次披露的TeraFab项目,目标直指2纳米先进制程。但需注意:特斯拉目前无晶圆制造经验,亦无相关产线基础设施。业内普遍认为,TeraFab更可能以技术联合、产能绑定或代工升级等形式落地,而非完全独立建厂。

