一、关门前检查事项
1、检查待加工的产品是否与表示票一致
2、检查水晶片 的寿命是否在正常规格内
3、检查镀膜材料是否添加到位
4、检查修正挡板是否灵活
5、检查电子枪、离子源的挡板是否正常
6、检查视窗玻璃是否良好
7、检查公转系统是否正常
8、检查门封和真空腔内是否有遗留杂物
二、镀膜前检查事项
1、检查镀膜程序是否为本次加工的程序
2、检查烘烤温度是否到位
3、检查水晶片 的寿命是否稳定
4、检查真空度显示是否正常
5、确认离子源气体、电子枪气体是否正常
6、确认升冷 是否正常
7、当显示真空度到达10E-3PA，开始镀膜
三、镀膜过程中注意事项
1、确认镀膜程序是否为本次加工的程序
2、确认修正挡板、离子源挡板、电子枪挡板是否归位
3、确认回转系统、烘烤系统是否正常
4、确认离子源、电子枪气体实际值与设定值是否一致
5、确认离子源实际参数是否与设定参数一致
6、确认电子枪坩埚与程序设定数值是否一致
7、确认速率、膜层厚度、电子枪 、离子源 等是否稳定
8、每层镀膜完毕，转换到下一层的时候要确认坩埚是否旋转到位
四、镀膜完毕开门过程中注意事项
1、关注POLYCOLD 的回温状态
2、关注退火状态
3、开门前要对设备工作区域进行5S
4、产品移动过程中要戴无尘橡胶手套，戴口罩
5、产品加工完成要与加工票一同移交到镀检室