技术简介：
1、技术研发背景
该滤波器产品应用于“北斗”接收机下变频前端处理电路中，进行中频滤波。“北斗”接收机接收到的是从36000KM的太空辐射来的卫星信号，器件要求高。常规滤波器无法满足传输损耗小，抗电磁干扰(EMI)性能好及可靠性高等要求。声表面波滤波器的主要特点是设计灵活性强、模拟/数字兼容，各项性能优于传统滤波器，同时制作的器件体小量轻，可应用于各种手持设备。
2、技术突破
采用多组谐振器型滤波器、多条耦合器(MSC)设计，使两个模产生90℃的相位差，从反射栅入射的两列SAW振幅相同，反射后，两列SAW在MSC中发生了90度的相位差，这样SAW在MSC的上下两部分之间来回往复，产生谐振，从而达到高特性滤波要求。
3、实现原理及途径
材料选用128°铌酸锂，为抑制体波BAW，材料背面细打磨。
版图设计：采用多组谐振器型滤波器、多条耦合器(MSC)设计
芯片制造采用的工艺流程为：清洗—金属镀膜—光刻—腐蚀修频—测试。其中金属镀膜是关键工艺，膜厚和质量直接影响器件频率及特性，通过选择金属铝溅射工艺及涡流测试来实现高精度膜厚淀积。光刻和腐蚀修频可将光刻版图形直接转移至材料片，图形的完整性、表面粗糙度直接影响滤波特性。
为满足小型化要求，后道封装流程采用SMD5*7贴片封装，其中键合工序为关键工序。
技术指标：
一、F178.5滤波器主要技术指标：
●中心频率： 178.5MHZ
●插损：≤17.3dB
●扫描点：201
●绝对抑制：163.5MHZ～171.8MHZ≥44dB
185.2MHZ～193.5MHZ≥44dB
●封装形式：SMD5*7
二、F294A滤波器主要技术指标：
●中心频率： 294.2MHZ
●频率范围：±0.3MHZ
●插损：≤15dB
●扫描点：801
●-1dB带宽≥4.5 MHZ
●-40 dB带宽≤9.6 MHZ
●带内波动≤1dB
●封装形式：SMD5*7
三、 F46C4滤波器主要技术指标：
●中心频率： 46.2MHZ
●频率范围：±0.3MHZ
●插损：≤15dB
●扫描点：801
●-1dB带宽≥4.9 MHZ
●-40 dB带宽≤11.8 MHZ
●带内波动≤1dB
封装形式：SMD5*7
预期效益：
目前我国卫星导航终端(包括GPS、北斗)市场规模在200亿元左右，北斗终端还在普及初期，北斗导航渗透率(数量上)在2012年底为1%，2015年达到10%的爆发点，2020年达到国家政策60%的设定目标。其中所用的声表面波滤波器在2014年市场在几千万左右。预计2020年导航终端规模在300亿元，北斗终端达到200亿元。
本项目技术水平达到国内领先，解决了进口产品存在的安全性、供应链问题。预计每年销售额可达数百万元以上，具有良好的经济效益。
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