第九届国际先进光刻技术研讨会
（IWAPS 2025）
第九届国际先进光刻技术研讨会（IWAPS）将于10月14-15日在深圳举行！本次研讨会由中国光学学会、中国集成电路创新联盟主办，中国科学院微电子研究所、深圳市半导体与集成电路产业联盟（深芯盟）、南京诚芯集成电路技术研究院有限公司联合承办。
IWAPS 2025于10月14-15日在深圳举行
i. Optical Lithography
ii. Emerging Patterning Technologies
iii. Metrology, Inspection and Testing
iv. Computational Lithography
v. Design and Technology Co-optimization and Design for Manufacturability
vi. Materials
vii. Process
摘要要求
摘要必须清楚地描述论文的性质、研究主题、研究内容、组织结构、要点以及研究意义。且用英文撰写。
摘要必须包括以下内容：论文标题、关键词、作者的姓名、所属单位、邮件地址和通讯地址。摘要的字数不应超过500个单词。对研究内容的细节的描述将增加稿件被接收的可能。同时，我们强烈建议在提交的摘要中使用图表。
摘要截至日期：2025年7月31日
摘要提交邮箱：
iwaps_program@ime.ac.cn
摘要录用通知日期：2025年8月21日
全文要求
论文摘要被接收后，作者需要按照全文模板的要求提交最终论文。论文全文模板参考SPIE会议标准模板。论文投稿方式待系统开通后公布（将使用SPIE投稿系统，请务必注意时间节点）。若有问题，欢迎联系会务邮箱：iwaps_program@ime.ac.cn。
本届会议论文将被送检SPIE Digital Library及EI，请务必在截止日期前投稿全文，否则不予送检，请严格参考模板格式。
全文提交截止日期 2025年9月30日
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为贯彻落实习近平总书记“聚天下英才而用之”重要讲话精神，充分发挥科协组织广泛联系海外科技社团和海外高层次科技人才的优势，响应中国科协各省“成立省级海归创新创业联合体”号召，在全球范围内吸引人才、留住人才、用好人才，实现高水平科技自立自强，服务江苏省高质量发展，江苏省海外人才创新创业联盟应运而生。
联盟简称“苏创联”，非赢利、非法人创新型社会组织，秉持共建、共享、共创、共赢原则。由江苏省科学技术协会，世界绿色设计组织，中欧生命科学联盟，欧盟中国城市发展委员会，日本华侨华人博士协会，南京江北新区、苏州工业园区、南京江宁经济开发区，江苏省绿色金融专业委员会共同发起成立。
轮值会长单位：江苏集萃药康生物科技股份有限公司（688046.SH）
轮值会长：高翔，江苏集萃药康董事长、南京大学博士生导师、教育部长江计划特聘教授
秘书长单位：南京市苏科智联科技产业发展有限公司
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