本文是永鑫方舟团队第69篇原创行研
前 言
半导体设备零部件是半导体设备的关键组成部分。随着半导体技术向高精度、先进制程、高性能方向发展，零部件的重要性日益凸显。在 5G 通信普及、大数据中心兴起、人工智能赋能各行业以及物联网爆发式增长的背景下，半导体产业迎来黄金发展期。然而，我国半导体设备零部件长期依赖进口，高端产品和核心技术被国外少数企业垄断，严重制约了我国半导体产业的自主、安全、可持续发展，“卡脖子” 风险极高。近年来，国家大力支持半导体产业生态建设，出台多项扶持政策，鼓励本土企业加大研发创新。随着研发投入不断增加，中国半导体设备零部件国产化替代进程加速推进。
一、半导体设备零部件行业概况
1. 半导体设备零部件的重要性
半导体设备零部件是半导体设备的核心，其质量、精度与性能直接决定设备的可靠性和稳定性，是国产半导体设备迈向先进制程的关键。这些零部件具有精度高、批量小、多品种、尺寸特殊、工艺复杂等特点，需兼顾强度、应变、耐腐蚀性、电子及电磁特性、材料纯度等复合功能要求。
资料来源：SEMI，中微公司招股说明书
2.半导体设备零部件的分类
半导体设备零部件按照功能分类主要包括：机械类、气体/液体真空系统类、机电一体类、电气类、仪器仪表类及光学类。
具体的零部件类别及应用半导体设备如下：
资料来源：富创精密招股说明书
3.金属机械类半导体设备零部件
金属机械类零部件分为金属工艺件和金属结构件。
1）金属工艺件：与晶圆直接接触或参与晶圆反应，一般在密闭腔室的复杂工艺环境中参与晶圆制程。它能延长设备寿命、提升晶圆制造良率，具备高精密、高洁净、强耐腐蚀及耐击穿电压特性，工艺复杂。主要用于薄膜沉积、刻蚀、离子注入、高温扩散等设备，涵盖反应腔、传输腔、过渡腔、内衬、匀气盘等关键部件。
2）金属结构件：在半导体设备中一般起连接、支撑和冷却等作用，种类繁多，应用较为广泛。在半导体设备中一般不直接与晶圆接触或参与晶圆反应。对机械加工精度，包含平面度、平行度以及表面粗糙度等参数，有着严苛标准。鉴于下游设备定制化需求，部分结构零部件需具备高洁净、强耐腐蚀以及耐击穿电压性能，工艺制程相对简易。常见的金属结构件包含托盘轴、冷却板、流量计底座、铸钢平台等。
二、半导体金属机械类零部件市场概况
1. 产业链
2022-2028E中国半导体设备市场规模
单位：亿美元
资料来源：SEMI，中投产业研究院
3. 竞争格局
对于半导体金属机械类零部件，早期国内零部件厂商布局的领域已产生了具备国际竞争力的企业
竞争格局如下：
三、永鑫观点
半导体设备零部件是半导体设备产业链的关键环节，半导体设备的升级迭代在很大程度上依赖精密零部件的技术突破。其中，金属机械类零部件在半导体设备零部件市场占比最大。当前，全球半导体设备零部件市场由美日欧厂商主导。未来，国内半导体设备零部件厂商有望进一步融入国内产线供应链，加快半导体设备行业的国产替代进程。
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