KLA 纳米压痕仪的前世今生

Warren Oliver 博士和 John Pethica 博士成立Nano Instruments, Inc.，并发布世界上第一款商用纳米压痕仪——NanoIndenter®I，其核心技术：电磁力驱动，三片电容位移传感等久经考验。

Warren Oliver博士和 John Pethica博士获得了连续刚度测量 (CSM) 技术的专利，该技术至今还是KLA的专有功能；

发布NanoIndenter®II，首次配备连续刚度测量功能，至今CSM仍然是纳米压痕仪问世以来行业内引人瞩目的创新。

首次推出了大载荷作动器，可施加高达 5000mN 的压痕载荷。

Warren Oliver博士和George Pharr 博士发表《An improved technique for determining hardness and elastic modulus using load and displacement sensing indentation experiments》——纳米力学测量领域的里程碑式论文；

首次推出了横向力测量选项，实现摩擦力和摩擦系数的测量。

第三代纳米压痕仪Nano Indenter XP与XP Head作动器同步问世，XP head至今仍是业内主流的加载装置，现场使用二十几年后精度依然没有变化。

推出第一代高精度加载装置(DCM)——进行超低载荷的力学测试。

力学设备巨头MTS公司收了Nano Instruments。

首次发布一款高温功能选项：100°C测试腔。

首次推出可以直接测试12inch晶圆的测试系统——Nano Indenter XPW。

首次发布纳米级精度的NanoUTM高精度拉伸系统，其典型应用是测量蜘蛛丝性能超细单根纤维的拉伸性能，也可以在高达400%的恒定应变率下量化测试聚合物微纤维的粘弹性特性,至今还在全世界范围内广泛使用。

首次推出纳米级定位精度的扫描成像功能。

第四代旗舰型纳米压痕平台NanoIndenter G200面世——符合ISO14577 标准的纳米力学测试仪，至今仍然是世界上单一型号装机量排名前列的纳米力学测试平台。

安捷伦科技从 MTS公司收购纳米压痕仪团队，并推出原位纳米压痕测试和动态力学分析的新产品—InSEM I。

Warren Oliver博士团队创立Nanomechanics, Inc. 既是安捷伦的OEM，又在继续纳米压痕技术的创新。

创新推出原位高温纳米压痕仪InSEM HT，温度可达300°C。

创新推出超快速压痕功能——Express Test，这是继CSM技术后又一项革命性的纳米压痕技术，并获得联合国教科文组织颁奖。

推出新一代高性能原位纳米力学系统—— NanoFlip。

是德科技从安捷伦公司中分拆，并将纳米压痕部门收入麾下。

发布IF1000作动器，开创了在1000mN的状态下实现6nN分辨率的新技术；

发布第二代超快速压痕技术—— NanoBlitz™ 3D 技术、Mapping范围更大，点数更多，精度更高，速度更快。

发布NanoBlitz 4D技术，开创性地实现了样品力学性能的断层扫描；

同期将InSEM HT 温度范围提升至 800°C，之后又提升至1100°C

发布Gemini双轴压痕系统——能够以相同分辨率在双轴方向施力并测位移的作动器，并具备真正的纳米摩擦学和泊松比测量能力。

KLA Corporation 收购了是德科技的纳米压痕团队和Nanomechanics公司，Warren Oliver博士继续在KLA专注于纳米压痕技术的创新。

发布新一代NanoIndenter G200X——测试速度更快，精度更高，并实现了 DataBurst™ 冲击硬度测试，100kHz 的数据采集速率，可在超过 10^4/s 的应变速率下进行硬度测量。

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