气体流量控制器在现代工业和科研领域有广泛的应用。当前全球市场的产品对于气体转换的非线性及达成快速控制时间等尚未有很好的解决方案。矽翔微机电系统有限公司的MFC系列质量流量控制器，有效的解决了这些技术难题。公司独创的MEMS Thermal-D热传感技术，结合智能控制电子技术，为用户带来了全新的流量控制体验。
MFC2000系列质量流量控制器适用于多种工业过程气体流量控制。Thermal-D技术的应用，对于具有相同热扩散系数的气体，无需气体转换；同时可采用理论计算特殊气体转换因子，并保证初始校准的线性度，实现多气体的高精度控制。产品的整流设计，保证了在低压损的情况下的控制精度及可靠控制性能。它的特点包括：
采用MEMS Thermal-D热传感技术，实现多气体流量高精度控制。
控制范围为0.1至0.8MPa（15至117 PSI），适应不同的工作压力环境。
0至50℃的补偿温度，保证在不同温度下流量控制的稳定性。
标准机械接口为7/16-20UNF或9/16-18UNF，可选配各种尺寸的双卡套或VCR，并可定制其他机械接口。
MFC4000质量流量控制器具有当前全球最小的体积/尺寸，特别为各类分析仪器及其他对设备空间或重量有需求的应用设计。产品采用公司Thermal-D专利技术，可实现多气体的高精度测控。MEMS传感器具有2毫秒的响应时间，产品可达成最快75msec的控制时间。它具有以下特点：
动态范围达到100:1，能够适应不同的流量需求。
控制范围为0.1至0.8MPa（15至117PSI），适应不同的工作压力环境。
0至50℃的补偿温度，确保在不同温度下都能保持精确的流量控制。
流量控制器以其超小体积在紧凑空间中实现高效流量测控。
标准连接器可选10-32UNF或双卡套，同时提供定制连接器服务。
环境监测：在环境监测领域，精确的气体流量控制对于污染物的准确评估至关重要。
科学仪器：气相色谱或混气设备，精准的气体测控是仪器性能的保障。
生物设备：在生物设备中，如发酵罐，准确的气体输送对于产品的品质非常重要。
