FEMAG/FZ软件的主要功能
FEMAG/FZ软件用于模拟分析区熔法生长工艺过程。可以用于超纯硅晶区熔法生长过程的模拟。这些超纯晶体广泛用于大功率器件、电力汽车、高铁等设备上。
FEMAG/FZ软件的典型应用
FEMAG/FZ软件的典型应用是模拟超纯晶硅区熔法生长工艺过程。图1为超纯晶硅区熔法生长工艺模拟结果图,其中(a)为全局热场分布;(b)为熔体流动;(c)为磁场分布。