台积电称无需ASML新光刻机即可制造下一代A16芯片
台积电对High-NA EUV的考量
1、价格昂贵:据《经济日报》报道,High-NA EUV(高数值孔径极紫外光刻)设备价格高昂,台积电在考虑是否将其用于A16节点时感到震惊。
2、技术研讨会上的表态:在阿姆斯特丹的技术研讨会上,台积电的Kevin Zhang博士表示,尽管欣赏High-NA EUV的技术能力,但其价格标签令人难以接受。
3、性能优势:ASML的High-NA EUV设备能够在半导体上印制仅8纳米厚度的线条,比上一代技术小1.7倍。
4、成本考量:High-NA EUV设备的售价高达3.5亿欧元(约合3.8亿美元),重量相当于两架空客A320客机。
5、台积电的替代方案:Kevin Zhang博士表示,台积电可能会继续依赖现有的、较旧的EUV设备来满足A16节点的生产需求,因为这些设备应该能够支持该节点的生产。
6、经济与技术平衡的考量:是否采用High-NA EUV技术将取决于其提供的经济效益和技术平衡。台积电尚未决定何时从ASML购买High-NA EUV设备。
7、竞争对手的动向:与此同时,英特尔已确认收到并组装了业界首个High-NA EUV光刻系统,预计能够显著提高芯片密度。

