上海微电子中标近1.1亿元光刻机项目，国产高端装备取得实质性突破
中国政府采购网公告显示，上海微电子装备（集团）股份有限公司成功中标一项金额达109,999,850元的光刻机采购项目。中标设备为SSC800/10型步进扫描式光刻机，将用于支持国内重点科研或制造单位的产线建设，助力提升成熟制程领域制造能力 [3] 。
国产光刻设备产业化加速推进
作为国内光刻设备领域领军企业，上海微电子自2002年成立以来持续聚焦半导体及泛半导体装备研发与产业化，目前已具备覆盖90纳米及以下工艺节点的技术能力 [5] 。公司现有五大光刻设备系列：SSX600、SSB500、SSB300步进光刻机、SSB200小Mask及大Mask曝光机 [6] 。
在外部技术封锁加剧、全球供应链不确定性上升背景下，国内晶圆厂对本土设备的验证与导入节奏明显加快 [7] 。随着成熟制程产能持续扩张，以及AI、汽车电子等下游应用带动芯片需求增长，国产光刻设备正迎来从“能用”向“好用”过渡的关键窗口期 [7] 。
技术路线与政策支持双轮驱动
除本次中标的设备外，业内消息称，上海微电子的193nm ArF浸没式光刻机已进入中芯国际等头部代工厂内部测试阶段，目标指向28纳米工艺节点；EUV相关原型机研发亦取得阶段性成果 [9] 。
政策层面，上海市政府近期出台多项举措强化本地集成电路产业生态，包括加强算力基础设施布局、鼓励关键技术攻关，并对取得重大资质的企业给予高额奖励，为设备厂商提供良好发展环境 [10] 。
订单落地彰显用户信任
光刻机是半导体制造中最复杂、最精密的设备之一，其性能稳定性、良率控制及整线协同能力仍需长期运行验证 [11] 。但此次近1.1亿元项目的落地，不仅是一笔商业订单，更是国产装备获得用户信任的有力证明 [11] 。
随着更多同类项目落地，中国半导体设备产业有望在全球价值链中占据更坚实位置；上海微电子的这一步，或是迈向更高技术水平与更大市场份额的重要起点 [12] 。