--- 透射电镜简介 ---
透射电镜主要由光学成像系统、真空系统和电气系统三部分组成。光学成像系统主要包括照明系统、成像放大系统、图像观察记录系统。照明系统是产生具有一定能量、足够亮度和适当小孔径角的稳定电子束的装置，包括：电子枪、 聚光镜。
--- 透射电镜的成像“奥秘” ---
透镜的成像作用可以分为两个过程：第一个过程是平行电子束遭到物的散射作用而分裂成为各级衍射谱，即由物变换到衍射的过程；第二个过程是各级衍射谱经过干涉重新在像平面上会聚成诸像点，即由衍射重新变换到物（像是放大了的物）的过程。
--- 透射电镜的应用场景 ---
您想知道先进制程芯片的精确工艺尺寸吗？想了解器件薄薄的栅氧厚度吗？想分析它的组成成分吗？透射电镜可以解决您的困惑。
透射电镜主要存在以下模式及应用场景：
1.明暗场衬度图像：放大倍数可达100万倍；
2.高分辨TEM（HRTEM）图像：可以获得晶格条纹像（反映晶面间距信息）；结构像及单个原子像（反映晶体结构中原子或原子团配置情况）等分辨率更高的图像信息；
3.STEM：HAADF侦测器可以依材料之原子序大小，呈现不同之亮度灰阶，加强材料层之间的对比，相较于传统之视野影像有更佳之成分鉴别率；
4.EDX：元素点、线、面扫描分析；
5.SAD：微米级微小区域结构特征。
透射电镜Thermo Scientific Talos简介
芯愿景最新引进的Thermo Scientific Talos 扫描/透射电子显微镜(S/TEM)将出色的高分辨率S/TEM和TEM成像与行业前列的能谱 (EDS) 信号检测和通过成分绘图进行 3D 化学表征结合在一起，通过智能扫描引擎、基于多个STEM 探测器的四通道集成以及用于分辨样品磁畴、电畴分布的差分相位衬度 (DPC) 成像，大幅改善了成像效果，可为EDS 数据处理和量化分析提供极高的速度和精确度。
除上述特征外，它还具备以下特点：
1. 集成四个硅漂移探测器 (SDD) 的 EDS 系统，可提供出色的灵敏度和高达105光谱/秒的扫描能力；
2. 与 X-TWIN 物镜集成，可最大限度提高收集效率，同时可实现给定电子束电流（甚至是低强度EDS信号）的出色输出计数率；
3. TEM信息分辨率0.12nm；
4. STEM HAADF分辨率0.16nm；
5. EDX 立体角0.9 srad。
透射电镜分析样图
图3. 透射电镜制样及样图
图4. 晶体管的定点成分分析样图
图5. 线扫描分析样图
如有任何工艺相关分析需求，各位新老朋友可随时与我们联系。芯愿景工艺分析团队将竭诚为您提供高效、精准的服务。