柔性卷绕等离子体真空镀膜系统

8月19日，由中国科学院上海微系统与信息技术研究所组织专家对与上海产业技术研究院合作研制的柔性卷绕等离子体真空镀膜系统进行了技术验收。柔性真空镀 膜系统是柔性电子和可穿戴电子领域的核心装备之一，主要是在柔性衬底（聚合物、金属等）上制备各类功能性薄膜材料，可满足柔性电子器件包括显示、传感、储 能、光伏等器件的需求。经过3年多的技术攻关，研制成功可在聚合物薄膜衬底如PE、PP、PET和PI等材料上制备陶瓷、金属等功能性薄膜的高真空连续镀 膜系统，特别是在高密度等离子体源、在线等离子体清洗、衬底低温连续传输、柔性衬底精密传输和控制、柔性镀膜工艺实时监控等关键技术方面获得重要突破。所 研制的装备可满足柔性电子领域的薄膜制备需求，填补了国内在此领域的空白；同时在国际上首先实现了采用真空镀膜工艺制备锂离子电池陶瓷隔膜的技术路线，提 高了隔膜的耐温性能，为提高锂离子电池的安全性提供了新的技术途径。