近日,大连晶博半导体材料科技有限公司获得一项新型实用专利,名为“一种石英舟组立机”。2023年,晶博半导体就获得同名的发明专利。
本实用新型涉及石英舟加工技术领域,特别是涉及一种石英舟组立机,使用机械设备完全替代石墨模具,解决现有技术中一套模具只能组立一种样式石英舟的问题。本实用新型包括工作台、组立装置、夹持装置和卡盘角度调节装置,组立装置包括卡盘、固定座、X轴滑台,夹持装置包括夹持端、夹持组件、Y轴滑台、Z轴升降装置和背板,卡盘角度调节装置包括角度调节杆和传动组件,组立装置和夹持装置配合使用实现单根石英舟槽棒的精准定位,再通过组立装置和角度调节装置配合使用实现制备不同样式的石英舟产品,有效提高产品的生产效率、产品的品质和产品的多样性。

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