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一种应用于单晶硅生产的多层复合石英坩埚及其制备方法

一种应用于单晶硅生产的多层复合石英坩埚及其制备方法 石英产业
2024-07-17
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导读:2024年7月12日,浙江美晶新材料股份有限公司申请一项名为“一种应用于单晶硅生产的多层复合石英坩埚及其制备方

2024年7月12日,浙江美晶新材料股份有限公司申请一项名为“一种应用于单晶硅生产的多层复合石英坩埚及其制备方法”的专利,申请公布号为CN118326498A。

本发明提供一种应用于单晶硅生产的多层复合石英坩埚及其制备方法,该石英坩埚由外至内包括依次连接的硅碳有机物保护层、气泡层、透明层和含钡涂层。该制备方法制备得到的石英坩埚外层的硅碳有机物在使用时受热能转化为SiC保护层,该保护层能有效的抑制气泡层与石墨坩埚反应生产气体,同时为坩埚整体提供良好的支撑,从而有效提高石英坩埚的使用寿命。

浙江美晶新材料股份有限公司创建于2017年,总部设立在浙江绍兴,主要产品与服务包括石英坩埚产品。上游主要是高纯石英砂,下游是硅片生产企业,公司的石英坩埚远销海内外,客户广泛分布于欧洲、美洲、韩国、印度、港澳台等地区。

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