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菲利华专利:石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备

菲利华专利:石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备 石英产业
2024-11-13
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导读:​2024年11月13日消息,国家知识产权局信息显示,上海菲利华石创科技有限公司申请一项名为“石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备”的专利,公开号 CN 118930025 A,申请日期为202


2024年11月13日消息,国家知识产权局信息显示,菲利华石创科技有限公司申请一项名为“石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备”的专利,公开号 CN 118930025 A,申请日期为2024年7月。
专利摘要显示,本申请提供了一种石英玻璃制品成型方法及石英玻璃制品成型设备,属于半导体器件制造技术领域。方法包括:将石英玻璃板放置于石英玻璃制品成型模具上,并加热石英玻璃板至预处理温度;在预设保温时长内,对石英玻璃板进行保温处理;继续加热石英玻璃板至软化温度;当石英玻璃板的实际变形量 L0 达到第一预设变形值时,对石英玻璃制品成型模具的真空腔室抽真空;当石英玻璃板的实际变形量 L0 达到第二预设变形值时,石英玻璃板成型为石英玻璃制品,停止对真空腔室的抽真空操作。本申请提供的石英玻璃制品成型方法,可以降低石英玻璃制品的加工难度,减少材料消耗,提高石英玻璃制品的加工精度及产品合格率。

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