一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺

据国家知识产权局信息显示，江苏亨芯石英科技有限公司拥有一项名为“一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺”的专利，公开号 CN115108713B，申请日期2022-06-15，公布日期2024-01-26。

专利摘要

本发明公开了一种高光学均匀性石英玻璃的制备工艺，包括两次槽沉工艺，具体包括以下步骤：(1)将表面经酸洗处理后的石英玻璃原料放入第一模具中，放入槽沉炉内，将槽沉炉抽真空，以10～15℃/min升温至1750‑1900℃，充氮气保持炉内微正压，保温1～5h，再以5～10℃/min降至室温取出，完成第一次槽沉处理；(2)对第一次槽沉处理后的料进行酸洗处理，然后置于第二模具中，放入槽沉炉内，抽真空以5～10℃/min升温至1600～1750℃，充氮气保持炉内微正压，保温2～8h，然后进行梯度降温至室温。本发明通过上述工艺可将长径比为2～10、光学均匀性较差的石英玻璃处理获得高光学均匀性、低应力、缺陷少的石英玻璃，满足光学及半导体领域对石英玻璃的性能要求。