11月18日,金华市科学技术局发布了关于下达2026年度金华市重大(重点)科技计划项目的通知,全市共323个项目入选。
其中,石英材料领域的三大技术攻关项目被列入重点项目名单,本次入选的项目契合国家战略性新兴产业发展需求,致力于解决高端石英材料在半导体、光伏等领域的卡脖子技术难题:
1.大尺寸合成石英气相沉积技术研发——浙江宇谦智能装备有限公司
CVD合成石英是光刻机光学系统、高端半导体工艺设备等不可或缺的核心材料。目前,国际上只有美国康宁、德国贺利氏等公司具备批量生产大尺寸高性能CVD工艺石英玻璃的能力,技术壁垒极高,项目成功将极大提升我国在高端装备领域的自主保障能力。
2.半导体及光伏坩埚用5N级超高纯石英砂制备关键技术及工程示范——武义盛景英石新材料有限公司
石英坩埚广泛应用于半导体和光伏行业中的单晶硅生长过程,对原材料纯度要求极为严苛。为减少晶格缺陷、提高晶体均匀性,必须使用纯度达99.999%(5N级)以上的超高纯石英砂,以避免在硅晶体生长过程中引入杂质。该项目对保障半导体晶圆制造与光伏单晶拉制产业链的原料供应安全与成本控制具有重要意义。
3.环保高效提纯制备高纯石英砂研究——浙江润优新材料科技有限公司
浙江润优新材料科技有限公司是一家专注高端石英原材料和制品深加工的高新技术企业,集科研、生产、销售为一体的企业,其专注于超高纯石英基础材料及相关石英制品的研发和生产,产品可应用于半导体、光纤、光伏和航空航天等多个高端领域。
公司与浙江大学杨德仁院士团队联合组建了石英材料研究院,定位是国内顶尖的高纯石英材料研究机构。今年4月,公司总投资42亿元、被列入浙江省“千项万亿”重大工程的“年产4万吨高纯石英制品及半导体硅基新材料项目”已正式点火投产。预计到2025年第三季度,其高纯石英砂月产能将突破2000吨,并逐步形成石英坩埚、石英管等全产业链产品体系。新生产线引入智能化装备,实现从矿石精加工到高端石英制品的全流程升级。项目将重点服务于半导体硅基材料、光纤通信、航空航天等高端应用领域,进一步强化国内关键材料供应链的稳定与安全。
来源:金华市科学技术局、ACMI硅基新材料
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