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匹配高端精密制造!高纯石英材料入选2025 年浙江省重点新材料首批次应用示范指导目录

匹配高端精密制造!高纯石英材料入选2025 年浙江省重点新材料首批次应用示范指导目录 石英产业
2025-09-04
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导读:2025 年 8 月 25 日,浙江省经济和信息化厅发布了《浙江省重点新材料首批次应用示范指导目录(2025年版)》公示,该目录旨在引导和推动重点新材料的产业化与规模化应用,其中石英及硅基新材料相关内
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2025 年 8 月 25 日,浙江省经济和信息化厅发布了《浙江省重点新材料首批次应用示范指导目录(2025 年版)》公示,该目录旨在引导和推动重点新材料的产业化与规模化应用,其中石英及硅基新材料相关内容备受关注。
目录中,无机非金属材料石英材料入选,精准匹配半导体和集成电路高端制造需求:
硅片半导体级合成石英坩埚:规格达32 英寸,内表面杂质≤0.1ppm、透明层气泡≤1 个 /mm²,尺寸精度控制在 “外径 ±1mm、厚度 ±0.75mm”,是半导体单晶硅棒生长的核心载体;
高纯石英砂:SiO₂纯度≥99.999%,15 种杂质元素总量≤10ppm,Li/Na/K 等关键杂质总量≤1ppm,为光伏、半导体、光纤通信等领域提供纯净源料;
高纯石英材料:结构稳定,精密机械加工后尺寸精度可达±0.002,热加工处理后,应力可以 3°以下,材料纯度含量达到 99.999%,材料表面不允许有任何有色异物,专为集成电路制造场景定制。
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来源:浙江省经济和信息化厅

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