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全套图纸送给我国,也没办法造出来?上海微电子新一代光刻机发布

全套图纸送给我国,也没办法造出来?上海微电子新一代光刻机发布 星星艾米丽
2021-09-25
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导读:我国是芯片消耗大国,多年来对芯片的进口甚至远远超过了石油,这并不是因为我国缺少芯片企业,而是在芯片制造技术方
我国是芯片消耗大国,多年来对芯片的进口甚至远远超过了石油,这并不是因为我国缺少芯片企业,而是在芯片制造技术方面,尤其是在高端芯片制造方面没有掌握话语权。原因想必大家都知道,就是缺少芯片制造环节中必不可少的设备—光刻机。正是因为这一原因,才会有中兴、华为被“断粮”的惨痛教训。
一台光刻机重数十吨,零部件多达10万多个,制造工艺非常复杂, 研发难度非常高,尤其是高端EUV光刻机,能制造出来的全球只有荷兰的ASML,并且ASML在DUV光刻机领域也超过了过半的比重。但由于ASML采用了美国技术,由于美国方面的限制,我国无法从ASML手中购买光刻机。

而关于光刻机被限制出口,我国并不是没有提前察觉。早在2001年,微电子研究院院长就分析了我国集成电路、微电子产业对中国未来发展的重要性,并且提出了芯片是电子产业的心脏,是未来基础的理念。2002年,光刻机被列入科技部与国家863重大科技攻关计划之中,科技部与上海市共同承担,并且针对此项任务成立了相关公司,就是现在的国产光刻机巨头上海微电子。

全套图纸送给中国,也没办法造出来?
然而,上海微电子在起步发展阶段,由于在光刻机领域存在许多知识盲区,到海外先进企业拜访时,在表达了自己的想法之后,海外专家却给出了嘲讽的声音,表示即便把全套图纸送给中国,也没办法造出来!而这句话,虽然说是当时真实的写照,也伤了中国科研人员的自尊心,但却激发了我国对光刻机研发的斗志!而如今上海微电子宣布的结果狠狠地打了那些人的脸。

中国巨头宣布结果
根据上海微电子官方发布的公告显示,上海微电子推出了新一代大视场高分辨率先进封装光刻机,而这种新品光刻机具有高分辨率、高套刻精度和超大曝光视场的特点,主要用于高密度异构集成领域。这台光刻机与传统的光刻机不同,主要应用于芯片封装,并且对我国芯片封测企业来说意义重大。

要知道,芯片制造是一个非常复杂的过程,包括晶圆制作,涂抹、蚀刻、离子注入、测试、封装、测试环节,每一个环节都不可或缺。而长期以来,我国封装企业的光刻机大部分来自于佳能、尼康、ASML,技术方面依赖于日本、美国,也正是因为这些原因,我国无法掌握封测光刻机的定价权。而如今上海微电子推出的高分辨率先进封测光刻机,也意味着我国在这一领域打破了美日技术钳制,国产封测企业采购设备再也不用看国外企业的脸色了。
不仅如此,值得注意的是,上海微电子28nm精度DUV光刻机也将在年底实现量产,上海中微半导体所研发的5nm蚀刻机也已达到了世界领先水平,这也意味着,芯片制造各个核心环节都已被我国所攻克,国产中高端芯片生产线将很快实现“国产化”。
也正是因为这种原因,近期我们一直能看到美国对中国企业松绑、恢复芯片供应的新闻,其实心知肚明的人都知道,中国打造国产芯片供应链的速度越来越快,并且步伐也越来越坚定,西方主导全球半导体产业的日子将一去不复返!

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