【木木西里—每日仪器】NO.E-02-013 高纯气、特气分析系统

高纯气体应用领域极广，无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂，都需要使用高质量高纯度气体。如在半导体工业，高纯氮，氢，氩，氦可作为载气，保护气和配制混合气的气体来源。高纯气/特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法，既可用于检测常见的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量杂质，还可分析特种气体如HCL，SiH4，BCL3，N2O,CF4等。

纯气体(Purified Gases)是气体工业名词，通常指利用现代提纯技术能达到的某个等级纯度的气体。高纯气体应用领域极宽，在半导体工业，高纯氮、氢、氩、氦可作为运载气和保护气；高纯气体可作为配制混合气的底气。电子特气广泛应用于半导体、微电子和相关的太阳能电池等高科技产业，或用于薄膜沉积、刻蚀、掺杂、钝化、清洗，或用作载气、保护气氛等等。

1. 实现多种气体高灵敏度检测；

2. 氦气吹扫，避免与空气接触所引起的外界污染；

3. 精密防泄露装置，避免潜在污染；

4. 配备高纯气吸气剂，去除微量杂质 。