【木木西里—每日仪器】NO.H-01-009 纳米压痕仪

纳米压痕仪主要用于微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量测试，测试结果通过力与压入深度的曲线计算得出，无需通过显微镜观察压痕面积。可适用于有机或无机、软质或硬质材料的检测分析，包括PVD、CVD、PECVD薄膜等。基体可以为软质或硬质材料，包括金属、合金、半导体、玻璃、矿物和有机材料等。

　　（1）研究或测试薄膜等纳米材料的接触刚度、蠕变、弹性功、塑性功、断裂韧性、应力-应变曲线、疲劳、存储模量及损耗模量等特性；

　　（2）适时测量载荷大小；

　　（3）应用于半导体技术(钝化层、镀金属、BondPads)；存储材料(磁盘的保护层、磁盘基底上的磁性涂层、CD的保护层)；光学组件(接触镜头、光纤、光学刮擦保护层)；金属蒸镀层；防磨损涂层(TiN,TiC,DLC,切割工具)；药理学(药片、植入材料、生物组织)；工程学(油漆涂料、橡胶、触摸屏、MEMS)等行业。

通过力与压入深度的曲线计算得出微纳米尺度薄膜材料的硬度与杨氏模量，无需通过显微镜观察压痕面积。