应用领域
1．TiO2纳米光催化以及在空气和水净化方面的应用；2．汽车尾气净化催化剂新型金属载体的研究；3．纳米药物载体及靶向药物的研究；4．纳米导电陶瓷薄膜材料的研究；
5．纳米杂化超硬薄膜材料及摩擦化学的研究；6．纳米发光材料及纳米分析化学研究；7．有机电致发光材料的表面化学研究；8．纳米材料在香烟减毒净化上的应用研究；9．无机纳米杀菌与抗菌材料及其在饮用水净化上的作用；10．电解水制氧电极材料的研究；
基本原理
能谱仪-EDS；能谱仪：EDS (Energy Dispersive Spectrometer)；能谱分析：EDAX(Energy Dispersive Analysis of X-rays)；能谱法：EDX (Energy Dispersive X-ray Spectrometer)；
产品特点
1. 能快速、同时对各种试样的微区内Be-U的所有元素，元素定性、定量分析，几分钟即可完成；2. 对试样与探测器的几何位置要求低：对W.D的要求不是很严格；可以在低倍率下获得X射线扫描、面分布结果；3. 能谱所需探针电流小：对电子束照射后易损伤的试样，例如生物试样、快离子导体试样、玻璃等损伤小；4. 检测限一般为0.1%－0.5%，中等原子序数的无重叠峰主元素的定量相误差约为2%；
X射线产生机理
1. 连续谱X射线的产生：PE在原子实库仑场中减速产生韧致辐射；2. 内壳层电离：产生特征X射线(或Auger电子)；
能谱仪检测原理
X射线光子进入锂漂移硅Si(Li)探测器后，在晶体内产生电子一空穴对。在低温下，产生一个电子－空穴对平均消耗能量为3.8ev。能量为E的X射线光子产生的电子－空穴对为N＝E/3.8 。例如：MnKa能量E为5.895KeV，形成的电子－空穴对为1550个。CaK: 3.7KeV，约产生1,000电子－空穴对。电子-空穴对形成电压脉冲信号，探测器输出的电压脉冲高度对应X射线的能量。
能谱仪的应用
1．固体样品的表面组成分析，化学状态分析，取样深度为～3nm；2．元素成分的深度分析（角分辨方式和氩离子刻蚀方式）；3．可进行样品的原位处理 AES：（1）可进行样品表面的微区选点分析（包括点分析，线分析和面分析）；（2）可进行深度分析适合： 纳米薄膜材料，微电子材料，催化剂，摩擦化学，高分子材料的表面和界面研究。
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