近日，zycgr发布14项仪器设备采购意向，预算总额达3.96亿元，涉及电感耦合等离子刻蚀机、无损全局薄膜厚度测试系统、多腔体深硅刻蚀机、全自动匀胶显影系统、伪光子数可分辨单光子探测器、高真空高速蒸镀系统等，预计采购时间为2025年12月。
详细采购清单：
Zycgr2025年12月仪器设备采购意向汇总表
采购 项目 |
需求概况 |
预算 万元 |
采购 时间 |
稀释制冷机 |
采购数量一套（含两台）国产制冷机。提供不少于1年的整机质保。要求提供高效的安装、培训、维护和保养等服务。提供设备终身技术支持和软件升级。 |
70 |
2025年12月 |
任意波形发生器 |
需要采购1台任意波发生器，要求该设备具备4通道输出，采样率达到10GSa/s，分辨率达到10bit。 |
110 |
2025年12月 |
高真空高速蒸镀系统 |
在高真空条件下，实现数微米厚度金属薄膜的蒸镀，要求真空度足以保证超导材料薄膜能够超导，拟采购1套设备，需满足极限真空<5e-8Torr，镀膜均匀性在4 inch基片优于5%。 |
200 |
2025年12月 |
电感耦合等离子刻蚀机 |
采购数量5台；用于刻蚀离子阱、光量子多种材料的平面结构，对基片底层保证低损伤。实现处理器表面结构制备。 |
4616 |
2025年12月 |
无损全局薄膜厚度测试系统 |
采购数量一套，通过超声回波原理，对12寸基片整体无损的测试薄膜的厚度分布，可以快速掌握整体的薄膜厚度情况。反馈给生长机台进行工艺调整。 |
1500 |
2025年12月 |
多腔体深硅刻蚀机 |
采购数量3套，用于实现处理器先进封装中的TSV孔刻蚀。实现先进封装。 |
18000 |
2025年12月 |
全自动匀胶显影系统 |
采购数量2套，配合光刻机进行涂胶显影实现自动化的涂胶显影，实现图形转移。同时可以对一些新的涂胶工艺与曝光显影效率进行提升，亦可对接自动化系统。 |
3200 |
2025年12月 |
自动机器人传片系统与物流调度监测系统 |
采购数量1套，提高平台的工作效率。同时可以进行数据分析与建模，数字孪生显示，智能调度，工艺参数监控等，提升工艺效率与良率。 |
10000 |
2025年12月 |
3432nm/467nm/411nm超稳激光 |
采购数量1套，用于镱离子量子比特的相干操作，实现足够快的能级间跃迁；参数要求三个波长包括3432nm、467nm和411nm,其中3432nm波长激功率大于200mW,467nm波长激光功率大于500mW,411nm波长激光功率大于300mW；线宽均小于60kHz(100微秒)，预期每年使用5000小时。 |
238 |
2025年12月 |
729nm激光器及配套窄线宽锁频系统 |
采购数量1套，用于钙离子电子态基态和亚稳态间量子调控；参数要求波长729nm，输出功率大于5W，线宽小于5kHz，预期每年使用5000小时。 |
143 |
2025年12月 |
高功率紫外激光器 |
采购数量2套，用于铍离子的激光冷却和拉曼操作过程，实现离子稳定囚禁和量子态操作；分别用于铍离子冷却和拉曼过程，高功率紫外激光器波长313nm，输出功率大于1W。 |
196 |
2025年12月 |
低振动低温制冷机 |
采购数量2套，用于给离子的实验系统提供低振动低温环境，实现超高真空和低电极噪声；分别用于铍离子和钙离子实验系统，低振动低温制冷剂一级冷却，外置包括大于100L液氮杜瓦罐，预期每年使用5000小时。 |
198 |
2025年12月 |
超稳激光 |
采购数量1套，1550nm超稳激光，激光功率>10mW; 真空度优于3E-6Pa;精细度优于30万;漂移<1Hz/s;锁定后稳定度优于3E-15,采购一套，质保期一年，交货期不超过2个月，提供送货安装调试。 |
115 |
2025年12月 |
伪光子数可分辨单光子探测器 |
采购数量1套，实现1550nm单光子光子数分辨探测，效率>90%,光子数分辨能力>8，采购1套32通道 |
300 |
2025年12月 |
来源：仪器信息网
CISILE2026中国科仪展
扫一扫下方二维码
关注微信公众号
2026年5月29-31日
国家会议中心二期
（北京市朝阳区大屯路甲20号)
www.cisile.com.cn