良率与环保难题如何破解？Pfeiffer 普发在 SEMICON West 2025 揭晓答案

UltiDry 多级罗茨真空泵是半导体市场的重要解决方案，为严苛的生产工艺提供更节能、更稳定的解决方案，助力您实现可持续产能升级。

此次展会，我们带来 Pfeiffer 普发用于半导体工厂的污染管控的全面解决方案（CMS）。旨在提高半导体制造的良率并确保质量保证。这些产品可立即识别污染、可定制设计和高吞吐量，支持先进的半导体晶圆厂保持最佳性能。

为了检测并去除空气分子污染物，Pfeiffer 普发污染管控解决方案（CMS）提供包括 APA 302 S、APA 302 LD、ADPC 302 和 AMPC 的量测设备以及 APR 4300 解决方案。

Pfeiffer 普发污染管控解决方案（CMS），是以客户为中心的全面协作解决方案，通过对制造环境和包装中的污染物进行细致控制，显著提高产品的产量和质量。

除了真空泵新品及污染管控解决方案以外，Pfeiffer 普发还展示其先进的气体减排系统，致力于确保半导体制造过程的安全与环保。我们的端到端解决方案能高效处理各类强效温室气体等工业废气，通过在其产生源头直接分解的方式，显著减少环境排放，携手客户共创更清洁的未来。