合作案例 I 哈尔滨工业大学深圳校区

太赫兹波（THz）是一种具有特殊频率范围的电磁波，其穿透力强、对多种材料具有较好的透射性、不具有电离能力等特性，使其在生物医学、材料科学、安全检测等领域有广泛的应用前景。2022年8月，公司在哈尔滨工业大学深圳校区交付了散射式太赫兹时域光谱系统（TDS-s-SNOM），该系统将太赫兹技术与近场扫描光学显微镜相结合，为近场太赫兹的研究和应用提供了新的可能。

实验室近场系统测试，在未密闭且未充干燥空间环境下进行测试，测试环境温度为26摄氏度，湿度为60%，保证了测试的真实性。通过近场扫描光学技术，在近场太赫兹成像模式下，仪器可实现的空间分辨率80nm。系统配备了铂铱镀层的原子力学探针，其粗位移扫描范围: X≥50mm, Y≥10 mm, Z≥5 mm，粗位移精度优于200 nm，定位精度小于200nm，扫描范围为91μmx91μm。此外，系统具有较高的扫描精度，在闭环扫描模式下，X和Y方向的扫描精度0.5nm，Z方向精度可达0.2nm。系统采用了开放式光路，原子力学探针具有超高光学通路，水平可达180度，垂直可达60度；近场成像单次测量最大尺寸为40x50x15mm (X,Y,Z)。

本系统优异的性能参数为科学研究提供了强大的支持，使得研究人员能够在微观尺度上深入探索材料的电磁性质、表面拓扑结构等方面，该系统的交付为相关学科的前沿探索和技术创新提供了重要的平台。

现场图片展示

测试结果展示

下图为金表面不同阶数及信噪比：

从左到右，从上到下分别是AFM图，固态源近场1，2，3阶图，样品为六方氮化硼：

         （由哈尔滨工业大学深圳校区张老师团队测量）

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